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發布時間:2020-07-15 19:09  





光刻膠趨勢
半導體光刻膠領域全球市場規模趨于穩定, 2017年全球市場約13.5億美元;國內市場約20.2億元,近5年復合增速達12%。受全球半導體市場復蘇和國內承接產業轉移,預計全球光刻膠市場將保持穩定增速,國內市占率穩步抬升。
光刻膠生產、檢測、評價的設備價格昂貴,需要一定前期資本投入;光刻膠企業通常運營成本較高,下游廠商認證采購時間較長,為在設備、研發和技術服務上取得競爭優勢,需要足夠的中后期資金支持。近年來,盡管光刻膠研發有了一定突破,但國產光刻膠還是用不起來。企業持續發展也需投入較大的資金,光刻膠行業在資金上存在較高的壁壘,國外光刻膠廠商相對于國內廠商,其公司規模更大,具有資金和技術優勢。
總體上,光刻膠行業得到國家層面上的政策支持。A我們建議使用FuturrexPR1-500A,它有幾個優點:比較好的解析度,比較好的線寬控制,反射比較少,不需要HMDS,RIE后去除容易等~4.求助,耐高溫的光阻是那一種。《國家集成電路產業發展推進綱要》,提出“研發光刻機、刻蝕機、離子注入機等關鍵設備,開發光刻膠、大尺英寸硅片等關鍵材料”;國家重點支持的高新技術領域(2015)中提到“高分辨率光刻膠及配套化學品作為精細化學品重要組成部分,是重點發展的新材料技術”;光刻技術(包括光刻膠)是《中國制造 2025》重點領域。
NR9-3000PYNR7 6000P光刻膠價格
四、前烘(Soft Bake)
完成光刻膠的涂抹之后,需要進行軟烘干操作,這一步驟也被稱為前烘。前烘能夠蒸發光刻膠中的溶劑溶劑、能使涂覆的光刻膠更薄。
在液態的光刻膠中,溶劑成分占65%-85%。5,顯影液在已經曝光的硅襯底膠面噴淋顯影液,或將其浸泡在顯影液中,正膠是曝光區、而負膠是非曝光區的膠膜溶入顯影液,膠膜中的潛影顯現出來,形成三維圖像。雖然在甩膠之后,液態的光刻膠已經成為固態的薄膜,但仍有10%-30%的溶劑,容易沾污灰塵。通過在較高溫度下進行烘培,可以使溶劑從光刻膠中揮發出來(前烘后溶劑含量降至5%左右),從而降低了灰塵的沾污。同時,這一步驟還可以減輕因高速旋轉形成的薄膜應力,從而提高光刻膠 襯底上的附著性。
在前烘過程中,由于溶劑揮發,光刻膠厚度也會減薄,一般減薄的幅度為10%-20%左右。
NR77-20000P
正膠PR1-2000A1技術資料
正膠PR1-2000A1是為曝光波長為365 或者436納米,可用于晶圓步進器、掃描投影對準器、近程打印機和接觸式打印機等工具。PR1-2000A1可以滿足對附著能力較高的要求,在使用PR1-2000A1時一般不需要增粘劑,如HMDS。
相對于其他的光刻膠,PR1-2000A1有如下的一些額外的優勢:
PEB,不需要后烘的步驟;
較高的分別率;
快速顯影;
較強的線寬控制;
蝕刻后去膠效果好;
在室溫下有效期長達2年。
PC6-16000
NR9-3000PY 相對于其他光刻膠具有如下優勢:
- 優異的分辨率性能
- 快速地顯影
- 可以通過調節曝光能量很容易地調節倒梯形側壁的角度
- 耐受溫度100℃
- 室溫儲存保質期長達3 年
NR9-1000PY 0.7μm - 2.1μm
NR9-1500PY 1.1μm - 3.1μm
NR9-3000PY 2.1μm - 6.3μm
NR9-6000PY 5.0μm -
12.2μm
Resist Thickness
NR71-1000PY 0.7μm - 2.1μm
NR71-1500PY 1.1μm - 3.1μm
NR71-3000PY 2.1μm - 6.3μm
NR71-6000PY 5.0μm - 12.2μm


