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發布時間:2020-11-04 10:14  





光刻膠市場
據統計資料顯示,2017年中國光刻膠行業產量達到7.56萬噸,較2016年增加0.29萬噸,其中,中國本土光刻膠產量為4.41萬噸,與7.99萬噸的需求量差異較大,說明我國供給能力還需提升。
國內企業的光刻膠產品目前還主要用于PCB領域,代表企業有晶瑞股份、科華微電子。
在半導體應用領域,隨著汽車電子、物聯網等發展,會在一定程度上增加對G線、I線的需求,利好G線、I線等生產企業。NR9-3000PY負性光刻膠負膠NR9-3000PY被設計用于i線(365nm)曝光,可使用如步進光刻、掃描投影式光刻、接近式光刻和接觸式光刻等工具。預計G線正膠今后將占據50%以上市場份額,I線正膠將占據40%左右的市場份額,DUV等其他光刻膠約占10%市場份額,給予北京科華、蘇州瑞紅等國內公司及美國futurrex的光刻膠較大市場機會。
PR1-2000A1NR74g 3000PY光刻膠報價
4,曝光
前烘好的存底放在光刻膠襯底放在光刻機上,經與光刻版對準后,進行曝光,接受光照的光刻膠發生化學變化,形成潛影,
光源與光刻膠相匹配,也就是光源波長在光刻膠的敏感波段;
對準:指光刻板上與襯底的對版標記應準確對準,這樣一套光刻版各版之間的圖形才能彼此套準。
曝光時間,由光源強度,光刻膠種類,厚度等決定,
另外,為降低駐波效應影響,可在曝光后需進行烘焙,稱為光后烘焙(PEB)
光刻膠
光刻膠由光引發劑、樹脂、溶劑等基礎組分組成,又被稱為光致抗蝕劑,這是一種對光非常敏感的化合物。Niepce的發明100多年后,即第二次大戰期間才應用于制作印刷電路板,即在塑料板上制作銅線路。此外,光刻膠中還會添加光增感劑、光致產酸劑等成分來達到提高光引發效率、優化線路圖形精密度的目的。在受到紫外光曝光后,它在顯影液中的溶解度會發生變化。
分類
根據光刻膠按照如何響應紫外光的特性可以分為兩類。
正膠
曝光前對顯影液不可溶,而曝光后變成了可溶的,能得到與掩模板遮光區相同的圖形。
優點:分辨率高、對比度好。
缺點:粘附性差、抗刻蝕能力差、高成本。
靈敏度:曝光區域光刻膠完全溶解時所需的能量
負膠egative





Photo Resist)
與正膠反之。
優點: 良好的粘附能力和抗刻蝕能力、感光速度快。
缺點: 顯影時發生變形和膨脹,導致其分辨率。
靈敏度:保留曝光區域光刻膠原始厚度的50%所需的能量。