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流量控制器能用于控制腐蝕性氣體和特殊氣體嗎? 如何選擇密封材料?

質量流量控制器可以用于控制各種氣體, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體, 但是要注意, 對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體, 需要恰當選擇型號和密封材料。用戶在訂貨時, 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體, 以免因為選型或選擇密封材料錯誤, 造成嚴重損失。

通常氣體質量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。可直接用來測量管道中介質的質量流量及總量、體積流量及總量、介質的密度、溫度、溶液的濃度以及較均勻混合的兩種液體各自的濃度等參數。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體, 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對于三氯化硼等強腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。

由于金屬密封的MFC價格較高, 通常要求不高的場合, 均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明, MFC都采用氟橡膠密封, 可以用于大多數酸性和堿性腐蝕性氣體, 例如可以用于鹵族干燥氣體。氣體的比熱容會隨著壓力溫度而變，但在所使用的溫度壓力附近不大的變化可視為常數。其它一些特殊腐蝕性氣體, 需要采用特種橡膠。氨氣——需要采用耐氨橡膠, 如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠;  三氯化硼等——需要采用全氟橡膠。

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流量控制器容易受這幾個方面的影響

質量流量控制器是一種測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準，不需要溫度壓力補償，可根據需要進行流量設定，自動地將流量恒定在設定值上，即使系統壓力有波動或環境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。可以地控制氣體的給定量，這對很多工藝過程的流量控制，是用于對于不同氣體的比例控制。由于加熱及測量元件與被測流體直接接觸，因此元件易受流體腐蝕和磨損，影響儀表的測量靈敏度和使用壽命。直接測量氣體的質量流量，輸出質量流量信號，不用其他設備。可以的測量微小流量，采用分流裝置，又可以測量大流量，而且溫度，壓力范圍很大。

一、壓力狀況

在加氣機中使用的質量流量控制器測量的氣體的壓力不低于20MPa，壓力遠遠大于大氣壓。高壓改變了振動管的內應力，提高了彈性管的等效剛度，從而使振動管的振動頻率增大，兩管的相位差減小；氣體流經振動管時，存在壓降，使得振動管受力不對稱，這也對相位差有影響。流量控制器基本原理通過測量氣體流經流量器內加熱元件時的冷卻效應來計量氣體流量的。

二、溫度影響

用于加氣機的CMF工作溫度遠低于室溫，溫度影響必須考慮；介質溫度或環境溫度變化會改變測量振動管的楊氏模量和影響零漂的結構等各種因素。

三、流速問題

壓縮氣體密度低，流速快，其影響不能忽略。理想情況下，流速增大則振動管的振動頻率減小。通常流體密度變化小，可以認為流速與流體質量流量正比，因此流速的補償可以轉化為流量變化的非線性因素進行補償。

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流量控制器的具體內容

1.提高開表率在儀表設備管理中，開表率的定義是：(儀表總臺數一未正常使用的儀表臺數)/儀表總臺數。因此，提高開表率就是要減少無法投入正常使用的儀表。

2.節省費用這里所說的費用除了儀表購置費之外，還應計入附件購置費、安裝調試費、運行費、備品備件費、維護和定期校準(檢定)費，而質量流量控制器的平均壽命攤入的折舊費也不是可忽視的。

3.提高流量測量系統的可靠性用于安全聯鎖報警的流量儀表如果不可靠，應該聯鎖動作時不動作，容易釀成事故，不該動作時亂動作，容易導致不應有的停車，造成損失。工業爐窯中的燃料流量計如果不可靠，造成流路堵塞，容易導致爐子熄火，釀成事故。(4)適用范圍寬有很寬的工作壓力范圍，我們的產品可以從真空直到10MPa。用于過程控制的流量儀表如果不可靠，容易為調節系統發出錯誤信息，導致調節系統失調，破壞生產過程的穩定，影響產品的質量、產量和物耗，造成損失。可以看出，流量儀表的可靠性是較為重要的。

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