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發布時間:2020-08-25 08:04  






復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。(1)潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上,可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響工作及品質。ULSI制程大都采用此種型式。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。
凈隧道另有二項優點:A.彈性擴充容易;3、深化圖紙:包括設計說明、文字方案、工程預算、平面圖、立面圖、部面圖、色彩效果圖、關鍵部位大樣圖、給排水、電氣、暖通等體與細節等達到按圖施工的標準。 B.維修設備時可在維修區輕易執行。(2)潔凈管道(Clean Tube):將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離,少量之送風即可得到良好之潔凈度,可節省能源,不需人工的自動化生產線為適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。
A.建議新風經過集中處理后再與回風混合,這樣可以減少表冷段的冷處理負擔;B.這類方案一般可以適用潔凈度較高的如百級、千級或萬級、十萬級等較低的凈化無塵廠房。2、光學微電子行業凈化工程設計方案分析之水冷柜機 增壓風柜 送風口與前種方案比較,這是相對比較簡單的空調方案。它可以大大地縮小機房的面積,水冷柜機可以根據具體的情況布置于較小機房內或凈化車間內,增壓風柜也可以布置于機房內或吊在機房內或在夾層內。潔凈室中由于靜電引起的的事故屢有發生,因此潔凈室的防靜電能力如何已成為評價其質量的一個不可忽視的方面。