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              射頻磁控濺射品牌企業(yè)

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              發(fā)布時間:2020-11-03 11:27  







              磁控濺射鍍膜設(shè)備技術(shù)的特點

              (1)離子轟擊滲擴(kuò)更快因為選用低溫等離子無心插柳,為滲劑分子和正離子的吸咐和滲人造就了高寬比活性的表層,提升了結(jié)晶中缺點的相對密度,比傳統(tǒng)式的汽體滲擴(kuò)技術(shù)性速率明顯增強(qiáng)。磁控濺射鍍膜設(shè)備技術(shù)的特點(1)鋼件形變小因為鋼件表層勻稱遮蓋輝光,溫度完整性好,能夠根據(jù)操縱輸出功率輸出來保持勻稱提溫。在一樣加工工藝標(biāo)準(zhǔn)下,滲層深度1在0.05二以內(nèi),比汽體滲擴(kuò)提升1倍。在較高溫度下,1h就能達(dá)lmm厚。

              (2)對鋼件表層改性材料成效顯著,工藝性能高,真空泵加溫易清除高溫冶煉廠時融解的汽體,并可根據(jù)滲人金屬材料更改PCB的機(jī)構(gòu)和構(gòu)造,使耐磨性能、耐蝕性、強(qiáng)度和斷裂韌性等眾多特性獲得改進(jìn)。如果轟擊離子能量很高時,濺射的原子數(shù)與轟擊離子數(shù)之比值將減小,這是因為轟擊離子能量過高而發(fā)生離子注入現(xiàn)象的緣故。而且因為清理功效,使金屬材料粗糙度減少,除去不銹鋼鈍化的殘渣和廢棄物,改進(jìn)了金屬材料的工藝性能。 

              (3)加工工藝適應(yīng)能力強(qiáng),有利于解決方式繁雜的鋼件。實際上,每個設(shè)備都有使用壽命,例如,擴(kuò)散泵用的硅油,使用壽命為兩年左右,我們提早更換,這是浪費(fèi)嗎。傳統(tǒng)式的正離子注人技術(shù)性的致命性缺點是注人全過程是1個視野全過程,只能曝露在正離子搶口下的鋼件表層能夠被注人,針對鋼件中必須表層改性材料的內(nèi)表層或管溝表層等,離子束則很難達(dá)到,而且一回只有注一人鋼件,注人率低,機(jī)器設(shè)備繁雜價格昂貴

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              直流磁控濺射技術(shù)

              為了解決陰極濺射的缺陷,人們在20世紀(jì)開發(fā)出了直流磁控濺射技術(shù),它有效地克服了陰極濺射速率低和電子使基片溫度升高的弱點,因而獲得了迅速發(fā)展和廣泛應(yīng)用。在這種級聯(lián)過程中某些表面附近的靶原子獲得向外運(yùn)動的足夠動量,離開靶被濺射出來。其原理是:在磁控濺射中,由于運(yùn)動電子在磁場中受到洛侖茲力,它們的運(yùn)動軌跡會發(fā)生彎曲甚至產(chǎn)生螺旋運(yùn)動,其運(yùn)動路徑變長,因而增加了與工作氣體分子碰撞的次數(shù),使等離子體密度增大,從而磁控濺射速率得到很大的提高,而且可以在較低的濺射電壓和氣壓下工作,降低薄膜污染的傾向;另一方面也提高了入射到襯底表面的原子的能量,因而可以在很大程度上改善薄膜的質(zhì)量。同時,經(jīng)過多次碰撞而喪失能量的電子到達(dá)陽極時,已變成低能電子,從而不會使基片過熱。因此磁控濺射法具有“高速”、“低溫”的優(yōu)點。該方法的缺點是不能制備絕緣體膜,而且磁控電極中采用的不均勻磁場會使靶材產(chǎn)生顯著的不均勻刻蝕,導(dǎo)致靶材利用率低,一般僅為20%-30%。

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              磁控濺射鍍膜機(jī)

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              目前國內(nèi)窗膜行業(yè)的批發(fā)商及終端店很多人都吃過磁控鍍銀膜氧化的虧,產(chǎn)品賣出后幾個月,開始大面積氧化,需要賠償,甚至還失去了客戶。特別是NSN系列在13、14年出的問題特別多,搞得很多人談磁控膜色變的地步。當(dāng)金屬靶材撞向零件時由于能量轉(zhuǎn)化,與反應(yīng)氣體化合生成氮化物或氧化物。而在15、16年后,問題得到解決。慢慢地就沒多少氧化問題出現(xiàn)了。這也讓很多剛接觸磁控膜的人以為磁控膜都是鍍銀的膜,一說磁控膜就問會不會氧化。其實大可不必?fù)?dān)心,大部分的側(cè)檔都不是銀的,請放心使用。且這兩年的技術(shù)進(jìn)步,國內(nèi)各磁控工廠也找到了解決氧化的方法。其實在玻璃鍍膜行業(yè),早就解決了氧化問題,我記得早期的low-e玻璃在鍍膜后必須在24小時內(nèi)合成中空,不然就會氧化。當(dāng)時low-e與中空都是鍍膜廠做的,下邊玻璃加工廠根本無法介入,而現(xiàn)在鍍膜廠只需生產(chǎn)玻璃鍍膜原片。且玻璃原片爆露在空氣中可達(dá)6個月以上,都不會氧化。這樣中空玻璃,一些門窗廠,幕墻公司、小規(guī)模的玻璃深加工工廠,都可以生產(chǎn)low-e中空玻璃了,加上政府政策的支持與引導(dǎo),大大的加快了low-e玻璃的發(fā)展與普及。做窗膜磁控濺射鍍膜的應(yīng)多去看看玻璃行業(yè)的low-e鍍膜,多些交流。畢竟生產(chǎn)原理是一樣的東西,技術(shù)是相通的。很多東西是可以套用的,low-e鍍膜得到了規(guī)模化的發(fā)展,技術(shù)工藝已非常成熟了。窗膜磁控濺射鍍膜終是要與玻璃配套的,如何與玻璃上直接鍍膜做差異化發(fā)展,才是正道。就目前來說,僅從隔熱性能、保溫性能上與玻璃對抗,是不可能有成本上優(yōu)勢的。但都是鍍膜,如何做差異化,我目前也只是拋磚引玉,只有大家一起開動腦袋了。










              磁控濺射鍍膜機(jī)的優(yōu)勢

              1.實用性:設(shè)備集成度高,結(jié)構(gòu)緊湊,占地面積小,可以滿足客戶實驗室空間不足的苛刻條件;通過更換設(shè)備上下法蘭可以實現(xiàn)磁控與蒸發(fā)功能的轉(zhuǎn)換,實現(xiàn)一機(jī)多用;

              2.方便性:設(shè)備需要拆卸的部分均采用即插即用的方式,接線及安裝調(diào)試簡單,既保證了設(shè)備使用方便又保證了設(shè)備的整潔;

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