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流量控制器的原理是什么？

質量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥門和放大控制器等部分組成。質量流量控制器的剖面結構圖見圖1。氣體流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量(無需溫度壓力補償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較, 再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。用戶在訂貨時,需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體,以免因為選型或選擇密封材料錯誤,造成嚴重損失。分流器決定主通道的流量。與質量流量控制器配套的流量顯示儀上設置有穩(wěn)壓電源,數(shù)字電壓表, 設定電位器, 外設、內(nèi)設轉換和三位閥控開關等。氣體質量流量控制器與流量顯示儀連接后的工作原理。

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使用流量控制器害怕什么?

怕粉塵, 若粉塵進入流量計會堵塞傳感器和分流器, 造成測量誤差, 要求在進氣口前加裝過濾器;

怕液體和油污進入MFC, 會造成失控, 如果MFC的出口接有液體罐, 需要在MFC出口加上單向閥, 防止液體回流;

怕使用潮濕的腐蝕性氣體, 潮濕的腐蝕性氣體會使不銹鋼生銹, 造成MFC通道損壞, 因此要求在使用腐蝕性氣體前, 要對氣體和MFC管路系統(tǒng)進行干燥處理;

怕在使用強腐蝕性、有毒等危害性氣體時不按安全規(guī)則操作, 有可能造成產(chǎn)品損壞和其它更嚴重的損失。正確使用, 安全操作, 對每個用戶都是重要的。

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流量控制器在高壓條件下如何使用?

質量流量控制器的工作壓差范圍通常比較小, 要在高壓條件下正常使用需要特別注意三點: 一, 是要選擇耐壓符合要求的MFC; 二, 是要挑選工作壓差范圍大的產(chǎn)品型號;  三, 要在MFC氣路前面加減壓閥, 穩(wěn)定入口氣壓, 在MFC下游加背壓閥, 穩(wěn)定反應室和MFC出口的氣壓, 適當調(diào)節(jié)減壓閥和背壓閥, 要保證MFC的工作壓差不會超過規(guī)定的范圍。只要做到以上三點,  MFC就能夠在高壓條件下穩(wěn)定工作。流量控制器特點1、穩(wěn)定的流量供給，不受溫度、壓力變化2、寬量程比，可達100：13、高達0。

流量控制器特點

1、 穩(wěn)定的流量供給，不受溫度、壓力變化

2、 寬量程比，可達100：1

3、 高達0.1%的重復性和1.0級的精度等級

4、 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

5、 內(nèi)置70余種氣體，觸屏式直接操作切換，無需重新校準

6、 標配三種顯示方式：數(shù)字、模擬和本地面板

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