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磁     控    靶

 磁控濺射靶是真空磁控濺射鍍膜的核心部件，它的重要作用主要表現在以下兩個方面

(1)對于大面積表面的鍍膜，磁控濺射靶影響著膜層的均勻性與重復性；

(2)當膜層材料為貴重金屬時，靶的結構決定著靶材(形成薄膜的材料)，即該貴重金屬的利用率.從靶結構上分為:圓形平面靶/柱狀靶/矩形靶/

常規圓形平面靶規格:

1.靶材尺寸：Ф50mm；Ф60mm；Ф75mm；Ф100mm；Ф150mm；可定制各類磁控靶

2.永磁靶（可濺射磁性材料)，射頻濺射與直流濺射兼容，靶內水冷；

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水冷銅電極介紹

水冷電纜電極是一種中空通水，用于大電流加熱設備的特種電纜，通常由電極（電纜頭）、導線、外護套管三部分組成。

普通水冷電纜電極使用銅管及銅排焊接而成，與設備連接不緊密；導線采用銅裸線絞制，彎曲半徑大；外護套管使用普通橡膠軟管，耐壓低；套管與電極采用普通卡箍緊固，密封性不好，易漏水。水冷電纜電極采用整體銅棒車、銑加工而成，表面做鈍化或鍍錫處理；導線使用鍍錫銅絞線或漆包線經數控繞線機編織而成，柔軟度高，彎曲半徑小；外護套管使用具有加強夾布層的合成橡膠管，耐壓高。干燥已經清潔的玻璃表面沈陽鵬程真空技術有限責任公司本著多年真空配件與零件行業經驗，專注真空配件與零件研發定制與生產，先進的真空配件與零件生產設備和技術，建立了嚴格的產品生產體系，想要更多的了解，歡迎咨詢圖片上的熱線電話。套管與電極使用紫銅卡箍在專業設備上冷擠壓緊固，密封性好，不易漏水。

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靶材鍍膜前的清潔

在進行鍍膜前都必須將基片進行清潔,對于在線鍍膜來說,這是很小的事情,但對離線鍍膜來說卻相當重要,而且操作起來也比較困難，對于大面積的鍍膜來說,將玻璃基片完全清潔干凈是不可能的,因此,如何達到鍍膜所必須要求的潔凈程度就變得非常重要。要保持清潔程度足夠高,如果清潔程度不夠,膜層容易老化,甚至脫膜等現象。要保持清潔程度足夠高,如果清潔程度不夠,膜層容易老化,甚至脫膜等現象。不同用途,不同加工工藝的膜層對清潔程度要求是不一樣的,對于目前我司生產的玻璃來說, Low-E玻璃要求的玻璃潔凈度不如熱反射玻璃高。目前要為鍍膜準備大面積的鍍膜玻璃基片，主要采用的是一 種濕式清潔技術,這種技術包括三部分:

1.松動玻璃表面的雜質

2.去除已經松動的、分離的雜質

3.干燥已經清潔的玻璃表面

沈陽鵬程真空技術有限責任公司本著多年真空配件與零件行業經驗，專注真空配件與零件研發定制與生產，先進的真空配件與零件生產設備和技術，建立了嚴格的產品生產體系，想要更多的了解，歡迎咨詢圖片上的熱線電話！！！