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      對LODTM機床來說，機床和工件尺寸大，受溫度影響也大。在同樣的切削量和線速度下，大工件的加工周期長，溫度對加工精度的影響非常大。因此，LODTM機床溫控要求非常高。如LLNL的LODTM機床，機床床體恒溫水、液壓系統控溫為0.0005℃，機房空氣控溫為0.003℃。精密加工廠服務熱線。

        對于小型商品化的機床，溫度控制要求不需太高（0.5℃）。這是因為小零件的高速加工時間短，溫度影響相對較小且易控。2011年，依托于北京航空精密研究所的精密制造技術航空科技重點實驗室研制出Nanosys-1000數控光學加工機床。這是我國研制成功的臺大型光學級加工水平的LODTM機床（圖2）。精密加工廠服務熱線。

        機床本體水恒溫、主軸、導軌液壓系統恒溫為0.1℃，加工機房空氣恒溫為0.1℃。機床主要技術指標：工件尺寸范圍大于1m；測量、控制系統分辨率為納米級；加工面形精度為亞微米級；加工工件表面粗糙度為納米級。床身本體設計成整體類龍門框架結構，具有高剛性、高穩定性及安裝、維修、工件裝卸、加工運行易操作性特點。精密加工廠服務熱線。

        機身整體坐落在4主動式隔振氣墊上，形成動力學3支撐，可隨著加工中改變自動調水平；隔振氣墊下的機床地基設計成具有橫向隔離的重力型減振形式；機床及工件刀具加工點設計在接近支持平面的位置，以化床身姿態變化擾動影響。機床主軸、導軌均采用液浮靜承，并根據工作狀態，主軸采用低阻尼,導軌采用高阻尼油；Z垂直導軌托板設計成無干涉氣浮重力平衡機構。精密加工廠服務熱線。

      在小的尺度方面，太赫茲系統中的微型波紋喇叭天線（毫米級復雜形狀內腔、微米級加工精度）是未來所需解決的超精密加工難題之一。超精密微機械加工機床的關鍵技術不在機床自身尺寸。由于運動精度要求，這種機床尺寸不能做得太小,因而其關鍵技術在于機床結構，如工件的裝夾，在位測量、調整、對刀、微型超精密刀具等。精密加工廠服務熱線。

        在加工面形的復雜度方面，由于太赫茲波束控制元件表面電磁特性，其設計元件面形更加復雜，如非對稱賦形自由曲面等。由于各種條件限制，超精密機床不可能做得太大。對于硬脆材料的超大型應用，如深空望遠鏡拼接式離軸非球面鏡片可用相應尺寸的多軸超精密自由曲面磨床加工解決，但對于太赫茲應用的金屬基（如鋁基等）相同尺寸或更復雜面形元件，這種機床就不適宜。精密加工廠服務熱線。