您好,歡迎來到易龍商務網!
【廣告】
發布時間:2020-11-03 16:51  
無塵室(Clean Room),亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎。控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當的微粒潔凈度級別。突發性的振動及不穩定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起,增加了重大微粒子污染的危險性。無塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。
無塵室主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為無塵室。
每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A。應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也就是業內俗稱的1K級別。3、設置有無塵室的廠房與廠外周圍環境的相對位置及與廠內其它廠房設施之間的相對位置,適用于遠離產生粉塵、煙霧、有毒氣體的污染源,在污染源上風側,并有一定防護距離的原則。
復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。⑴潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上,可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響了工作及品質,ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優點:A.彈性擴充容易; B.維修設備時可在維修區輕易執行。并裝局部無塵室(CleanSpot):將無塵室等級10,000~100,000之亂流無塵室內之產品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產之用。
影響無塵室的氣流因素很多,如制程設備、人員、無塵室組裝材、照明器具等,同時對于生產設備上方氣流的分流點,亦應列入考慮因素。一般操作臺或生產設備等表面的氣流分流點,應設于無塵室空間與隔墻板間距2/3之處,如此可使作業人員工作時,氣流可從制程區內部流向作業區,而將微塵帶走;若分流點配置在制程區前方,將成為不當的氣流分流,此時大部分的氣流將流至制程區之后,作業員操作所引起的塵埃將被帶到設備后面,工作臺因而將受到污染,良率也勢必降低。若分流點配置在制程區前方,將成為不當的氣流分流,此時大部分的氣流將流至制程區之后,作業員操作所引起的塵埃將被帶到設備后面,工作臺因而將受到污染,良率也勢必降低。