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發布時間:2020-08-04 14:32  





特種氣體系統的設計與施工
GMS和GDS系統
氣體監控系統(GMS)通過計算機網絡,實現對氣體輸送系統的實時監控,以確保系統的穩定性。
氣體偵測系統(GDS)是全廠生命安全系統(LSS)的重要組成部分。對于偵測器的要求,除了精度高,反應迅速外,還應具備自檢功能。對于這兩個系統在這里只能做一個概念性的介紹。
后、充分了解氣體特性、從而合理配置系統,合理選擇管徑和材料,是我們設計的重點,這樣可顯著降低整個系統的成本。
特種氣體的殺菌
安全與環保
1.制定完善的經驗證可行的滅菌工藝方案以及環氧乙1烷存放、收發制度,專人持證上崗,嚴格按照操作規程運行
2. 環氧乙1烷儲存應與滅菌生產隔離開來,應設有防爆墻,儲存室陰涼、通風、防曬,有易1燃、易1爆、有毒標志,并配備消防器材。
3.滅菌車間周圍30-50米內不得有明火作業、變電設備及其他可發生火花的設備或操作

特種氣體:高純氯1氣
高純氯1氣應用
高純氯1氣主要用于液晶平板顯示器、光纖和半導體行業,被用作蝕刻氣體和脫水劑,而其中光纖行業用量較大。光纖1主要參數是損耗,無論是石英光纖還是浮化玻璃光纖中的損耗,主要是由OH-陰離子、過渡金屬離子和稀土金屬離子引起的。因為光散射、光吸收主要是由OH-產生的,所以必須脫除光纖中的OH-離子。為了降低損耗,處需要光纖制造系統精良和所有原材料純度高外,其關鍵是在制造光纖工藝中通入高純氯1氣,有效除去OH-離子。因此,高純氯1氣是生產光纖不可或缺的原材料。制定完善的經驗證可行的滅菌工藝方案以及環氧乙1烷存放、收發制度,專人持證上崗,嚴格按照操作規程運行2。

特種氣體的介紹
主要生產工序包括氣體合成、氣體純化、氣體混配、氣瓶處理、氣體充裝、氣體分析檢測。氣體合成是將原料在特定壓力、溫度、催化劑等條件下,通過化學反應得到氣體粗產品。氣體純化是通過精餾、吸附等方式將粗產品精制成更高純度的產品。
應用領域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產四大領域,其中主要應用于半導體集成電路的生產制造。在半導體工業中應用的有110余種單元特種氣體,其中常用的有20~30種。