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流量控制器分類

熱式質量流量器根據熱源及測溫方式的不同可分為接觸式和非接觸式兩種。

1．接觸式熱式質量流量器這種質量流量計的加熱元件和測溫元件都置于被測流體的管道內，與流體直接接觸，常被稱為托馬斯流量計，適于測量氣體的較大質量流量. 由于加熱及測量元件與被測流體直接接觸，因此元件易受流體腐蝕和磨損，影響儀表的測量靈敏度和使用壽命。測量高流速、有腐蝕性的流體時不宜選用，這是接觸式的缺點。質量流量計如何工作的熱式氣體質量流量計件由兩個插入流體管道中的圓柱形探頭構成。

2．非接觸式熱式質量流量器這種流量計的加熱及測溫元件都置于流體管道外，與被測流體不直接接觸，克服了接觸式的缺點。

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流量控制器優點

熱式質量流量器可測量低流速(氣體0.02~2m/s)微小流量;浸入式熱式質量流量計可測量低~中偏高流速(氣體2~60m/s)，插入式熱式質量流量計更適合于大管徑。

熱式質量流量計無活動部件，無分流管的熱分布式儀表無阻流件，壓力損失很小;帶分流管的熱分布式儀表和浸入性儀表，雖在測量管道中置有阻流件，但壓力損失也不大。

熱式質量流量計使用性能相對可靠。與推導式質量流量儀表相比，不需溫度傳感器，壓力傳感器和計算單元等，僅有流量傳感器，組成簡單，出現故障概率小。

熱分布式儀表用于H2 、N2 、O2、CO 、NO等接近理想氣體的雙原子氣體，不必用這些氣體專門標定，直接就用空氣標定的儀表，實驗證明差別僅2%左右;用于Ar、He等單原子氣體則乘系數1.4即可;用于其他氣體可用比熱容換算，但偏差可能稍大些。

氣體的比熱容會隨著壓力溫度而變，但在所使用的溫度壓力附近不大的變化可視為常數。

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什么是流量控制器

質量流量控制器，即MassFlowController(MFC)，不但具有質量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據需要進行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值上，即使系統壓力有波動或環境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。質量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對于氣體或者液體的質量流量進行精密測量和控制。擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設備，光纖熔煉，微反應裝置，混氣配氣系統，毛細管測量氣象色譜儀，光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工。冶金，制藥等。特點：精度高，重復性好。簡單地說,質量流量控制器就是一個穩流裝置,是一個可以手動設定或與計算機聯接自動控制的氣體穩流裝置。

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流量控制器

使用揮發性液體蒸發汽, 氣壓很低, 如何定制質量流量控制器的低壓降產品?

部分用戶使用揮發性液體蒸發汽做氣源, 氣壓很低, 用普通MFC, 不能正常工作。這時用戶需要向供貨商特別聲明, 定制低壓降的質量流量控制器。通?？梢远ㄖ乒ぷ鲏翰畹陀?.01MPa的MFC, 這時MFC的工作壓差范圍, 也會變小。

注意使用揮發性液體蒸發汽時, 不能讓汽化物在MFC中結露, 結露會影響MFC的正常工作。為了防止結露, 可以對管路和MFC適當加溫, 但MFC的工作環境溫度通常不得超過50℃。如果用戶要MFC的工作環境溫度超過65℃以上, 需要特殊購買高溫MFC產品。質量流量控制器抗干擾能力強，測量精度高、量程比大、工作穩定可靠、對安裝要求低、對流體狀態要求低，壓力損失小等優點，且易清洗、具備自排空功能。