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CT系列鍍膜機

CT(Custamued workstation)系列鍍膜機系我司非標定制產品，根據您的要求單獨設計，滿足您的特殊需要。

特點：1、按需開發，量身定制。

2、整機采用柜式結構，密封性能好，防塵防水，安全。

3、磁控、熱蒸發多種鍍膜方式可選

4、可集成手套箱系統

5、可集成多種自動化應用

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油擴散泵在真空鍍膜機中的作用

油擴散泵：機械泵的極限真空只有10-2帕，當達到10-1帕的時候，實際抽速只有理論的1/10，如果要獲得高真空的話，必須采用油擴散泵。

油擴散泵的應用壓強范圍是10-1帕-10-7帕，它是利用氣體的擴散現象來排氣的，它具有結構簡單，操作方便，抽速大等特點。3、磁控、熱蒸發多種鍍膜方式可選4、可集成手套箱系統5、可集成多種自動化應用想了解更多產品信息，您可撥打圖片上的電話咨詢。油擴散泵主要由泵殼、噴嘴、導流管和加熱器組成，里面主要添加擴散泵油（日本的型號是D-704#），根據噴嘴的多少可以分為單級泵和多級泵。

擴散泵底部內儲存有擴散泵油，上部為進氣口，右側旁下部為出氣口，在工作時出氣口由機械泵提供前置壓強，機械泵充當前置泵。

當擴散泵的油被電爐加熱時，產生的油蒸汽提供前置壓強，機械泵充當前置泵。在刀具、模具等金屬切削加工工具方面在生活中，我們會看到金黃色的、鈷銅色的、黑色的等七雜八色的鉆頭、銑刀、模具等，這些就是經過鍍膜技術加工后的涂層工具。當擴散泵油被電爐加熱時，產生的油蒸汽沿著導流管經傘形噴嘴向下噴出。因噴嘴外面有機械泵提供的1-10-1帕的真空，故油蒸汽可噴出一段距離，構成一個向出氣口方向運動的射流。射流后碰上由冷卻水冷卻的泵壁，凝結為液體，流回蒸發器，即靠油的蒸發——噴射——凝結，重復循環來實現抽氣的。

由進氣口進入泵內的氣體分子，一旦落入蒸汽流中，便獲得向下運動的動量，向下飛去，由于射流具有高的流速（約200米/秒），高的蒸汽密度，且擴散泵油具有高的分子量（300-500）故能有效的帶走氣體分子，因此在射流的界面內，氣體分子不可能長期滯留，且在射流界面的兩邊，被抽氣體有很大的濃度差，正是因為這個濃度差被抽氣體能不斷的越過界面，擴散進入射流中，被帶往出口處，在出口處再由機械泵抽走。并且沉降在基片表面，通過成膜過程（散點－島狀結構-迷走結構-層狀生長）形成薄膜。

擴散泵的油蒸汽壓是決定泵的極限真空的重要因素，因此盡量選用飽和蒸汽壓低的泵油，其化學特性要好。

由于油擴散泵是無法杜絕有返油的幾率，那么沒有辦法保證精密產品的100％純凈，特別是半導體行業，所以就有“高真空冷凝泵＋低真空機械泵”所組成的無油真空系統，冷凝泵組成的排氣系統不僅排氣效率極高，而且有效保證真空腔的清潔，保證產品的質量（避免產品被污染、增強膜層與基板之間的附著力），但是其維護成本非常的高，造價昂貴，所以普及率沒有油擴散泵廣泛。真空鍍膜機原理真空鍍膜機是目前制作真空條件應用最為廣泛的真空設備，一般用真空室、真空機組、電氣控制柜三大部分組成，排氣系統采用“擴散泵 機械泵 羅茨泵 低溫冷阱 polycold”組成。

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真空抽不上去的原因

1、漏率偏高就是我們通常所說的漏氣;.

2、真空機組的抽氣能力不夠了，油被污染或氧化了:

3、真空室內太臟放氣;

4、真空室內有漏水;

5、真空管道有漏氣;.

6、或者是以上幾種可能都有。

出現問題首先是要判斷，是不是拆卸過東西，是不是漏水?閥門打開了嗎?根據現象判斷原因，然后再去根據判斷找問題，可能會收到事半功倍的效果。

養成良好的衛生習慣

相比以前我們廠的設備是灰塵滿面、油漬不堪。如需了解更多真空鍍膜的相關信息，歡迎關注艾明坷網站或撥打圖片上的電話詢。也許很多人都認為，設備只要正常運轉就可以了，搞得再干凈也是做表面工作。我可是這樣認為的，一個人連表面工作都作不來，那真的還有內在、實在的工作嗎?當然設備和設備周圍的灰塵、油污對設備的本身的影響也是相當之大的。灰塵能產生靜電，損壞電子元件;油污能使電線、水管硬化開裂，造成一些意想不到的問題出現。特別我們使

用的真空設備，還有它本身的特殊性。真空設備講究的是-一個真空清潔度，真空清潔度越差，放氣性就越大。這樣使設備抽到較高的真空度所需的時間就越長。

或者根本就無法抽到。這樣一來就減少我們的產量，二來影響到了我們的產品的質量。

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真空鍍膜設備真空泵的選擇

正確地組合真空泵。在光學儀器中人們熟悉的光學儀器有望遠鏡、顯微鏡、照相機、測距儀，以及日常生活用品中的鏡子、眼鏡、放大鏡等，它們都離不開鍍膜技術，鍍制的薄膜有反射膜、增透膜和吸收膜等幾種。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。

正確地選擇真空泵的工作點。說到這里，很多人都遇到過真空方面的漏氣問題，真空部分出現了問題很麻煩，再加上我們公司沒有檢漏儀，這就要分階段來找。每種泵都有一定的工作壓強范圍，如：2BV系列水環真空泵工作壓強范圍760mmHg~25mmHg(絕壓)，在這樣寬壓強范圍內，泵的抽速隨壓強而變化(詳細變化情況參照泵的性能曲線)，其穩定的工作壓強范圍為760~60mmHg。因而，泵的工作點應該選在這個范圍之內較為適宜，而不能讓它在25~30mmHg下長期工作。

真空泵排出來的油蒸氣對環境的影響如何。如果環境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。

真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如：某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度，選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg，1好能達到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設備工作真空度半個到一個數量級。