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發布時間:2020-11-01 09:48  





氦質譜檢漏原理
深圳銳誠真空專業生產、銷售氦檢漏設備,我們為您分析該產品的以下信息。
氦質譜檢漏技術是以無色、無味的惰性氣體氦氣為示蹤介質、以磁質譜分析儀為檢測儀器,用于檢漏的一種檢測技術,氦檢漏設備,它的檢漏靈敏度可達10-14~10-15Pam3/s,可以準確確定漏孔位置和漏率。氦質譜檢漏儀主要由質譜室、真空系統組件和電子學控制元件三大部分組成。質譜室接在分子泵的高真空端,入口接在分子泵和機械泵之間,氦檢漏設備價格,利用分子泵對不同氣體具有不同壓縮比的特點,氦氣逆著分子泵的抽氣方向進入質譜室。檢漏儀在質譜室中將氣體電離,這些離子在加速電場的作用下進入磁場,在洛倫茲力作用下發生偏轉,由于不同荷質比的離子具有不同的電磁學特性,偏轉半徑各不相同,在擋板的作用下,氦檢漏設備保養,氦檢漏儀的收集板只允許帶正電的氦離子被接收到,單位時間到達收集板的氦離子對應于一個電流信號,這個電流信號正比于進入到達收集板氦離子的數量,電流信號經過放大后顯示在質譜儀的顯示面板上,其大小反映了泄漏點的漏率,通過泄漏率大小來確定該位置泄漏程度的大小。
氦質譜檢漏儀的示蹤氣體選用氦氣,是因為氦氣具有以下優良特性:
①氦氣在空氣中的含量少,體積含量為5.24×10-6,如果氦氣在環境中的含量超過標準,可以比較容易地探測到極微量的氦氣;
②氦分子小、質量輕、易擴散、易穿越漏孔、易于檢測也易于清除;
③氦離子荷質比小,易于進行質譜分析;
④氦氣是惰性氣體,化學性質穩定,不會腐蝕和損傷任何設備;
⑤氦氣無毒,不凝結,極難容于水。
氦質譜檢漏儀
待機時電離室真空度保持在≤3x10-2Pa,燈絲不易被氧化脆斷。在檢漏過程中,當出現意外情況,系統突然暴露大氣或真空度突然降低,導致大量的氣體突然進入電離室,真空度≥1x10-1Pa時,燈絲電流急劇增大,燈絲被碳化,就發生了脆斷現象。
氦質譜檢漏儀燈絲壽命如何延長?有前面分析已知,造成氦質譜檢漏儀燈絲脆斷的原因:1.真空度低;2.燈絲電流過大;3.對燈絲有害的氣體氣壓太高(氧化性氣體、水蒸氣、氫氣)。那么,在使用中盡量避免燈絲在上述惡劣環境下長時間開啟,或者說盡量提高燈絲的上述使用條件就可以有效延長氦質譜檢漏儀的燈絲壽命。如:1.使用中盡量將預置真空開關空擋;2.避免電離室泄入有害氣體(氧化性氣體、水蒸氣、氫氣)。
氦質譜檢漏儀的日常保養與維護
以下是深圳銳誠真空為您一起分享的內容,深圳銳誠真空專業生產氦檢漏設備,歡迎新老客戶蒞臨。
質譜檢漏儀因具備檢測靈敏度高、反應速度快、定位定量準確等優點而被廣泛應用,但是在長時間的使用過程中常常會出現一些故障和現象,從而影響設備的正常使用。
檢漏儀的故障和處理
1 內部的泄漏
當檢漏儀內部存在泄漏時,會對檢漏工作造成較大干擾,容易造成誤檢、誤判。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質譜室、離子源與質譜室、分子泵與質譜室、標準漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的橡膠圈密封。采用噴氦法尋找漏點,更換密封件。
2 本底信號不穩定
1)本底信號過高有可能是環境本底被污染,注意檢查室內是否有氦氣源在泄漏。將室內的門窗打開通風,降低環境本底。
2)本底信號過高也有可能是因為質譜室被污染。檢漏儀若經常檢測含有油污、粉塵等雜質較多的被檢件時,質譜室極易被污染,需返廠進行清洗,本底信號不穩定,檢查電源電壓是否穩定,檢漏儀應有可靠的接地。
3)本底信號不穩定,檢查泵油是否渾濁,被污染。
3 設備的分子泵不啟動
分子泵不啟動,主要有檢查供電和前級真空是否正常(較常見的是前級真空機械泵故障或沒有打開造成的分子泵無法啟動)。或者是分子泵本身因振動和粉塵污染造成的損壞。
4 設備的質譜室不能正常工作
質譜室主要是燈絲無法正常加電,在確認機械泵、分子泵處于正常工作狀態后,若燈絲仍無法發射離子流,則需要更換離子源。
5 前級機械泵工作不正常
主要經常觀察泵油的顏色是否正常,粉塵的污染會使油色變黑,水汽會使油色呈現乳白色,都將導致機械泵工作不正常。另外過低的溫度會使機械泵油粘稠度增加無法啟動,過高的溫度也會使機械泵產生熱保停止工作,使用機械泵的環境溫度在 10至 40之間使用。