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發布時間:2020-05-23 12:05  





什么是流量控制器
質量流量控制器,即MassFlowController(MFC),不但具有質量流量計的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據需要進行流量設定,MFC自動地將流量恒定在設定值上,即使系統壓力有波動或環境溫度有變化,質量流量控制器哪里有,也不會使其偏離設定值。質量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對于氣體或者液體的質量流量進行精密測量和控制。擴散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設備,光纖熔煉,微反應裝置,混氣配氣系統,質量流量控制器廠家,毛細管測量氣象色譜儀,光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工。冶金,質量流量控制器,制藥等。特點:精度高,重復性好。
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流量控制器優點
熱式質量流量器可測量低流速(氣體0.02~2m/s)微小流量;浸入式熱式質量流量計可測量低~中偏高流速(氣體2~60m/s),插入式熱式質量流量計更適合于大管徑。
熱式質量流量計無活動部件,無分流管的熱分布式儀表無阻流件,壓力損失很小;帶分流管的熱分布式儀表和浸入性儀表,雖在測量管道中置有阻流件,但壓力損失也不大。
熱式質量流量計使用性能相對可靠。與推導式質量流量儀表相比,不需溫度傳感器,壓力傳感器和計算單元等,僅有流量傳感器,組成簡單,出現故障概率小。
熱分布式儀表用于H2 、N2 、O2、CO 、NO等接近理想氣體的雙原子氣體,不必用這些氣體專門標定,直接就用空氣標定的儀表,實驗證明差別僅2%左右;用于Ar、He等單原子氣體則乘系數1.4即可;用于其他氣體可用比熱容換算,但偏差可能稍大些。
氣體的比熱容會隨著壓力溫度而變,但在所使用的溫度壓力附近不大的變化可視為常數。
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質量流量控制器原理
質量流量控制器是利用熱傳導原理測量流體流量的儀表,質量流量控制器采用恒溫差法對氣體質量流量進行準確測量。質量流量控制器具有體積小,數字化程度高,安裝方便,測雖確等優點。質量流量控制器可用于玻璃、太陽能、大氣監測、工業制作、石油石化、煤炭冶金、制氣配氣、環保等各種工業企業的氣體管路分配控制、烴類氣體、可燃性氣體、煙道氣等氣體的質量流量或實際工況的體積流量測量和監控。
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