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發布時間:2020-05-23 12:05  





什么是流量控制器
質量流量控制器,即MassFlowController(MFC),不但具有質量流量計的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據需要進行流量設定,MFC自動地將流量恒定在設定值上,即使系統壓力有波動或環境溫度有變化,也不會使其偏離設定值。質量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對于氣體或者液體的質量流量進行精密測量和控制。擴散,氣體流量控制器報價,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設備,光纖熔煉,微反應裝置,混氣配氣系統,毛細管測量氣象色譜儀,光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工。冶金,制藥等。特點:精度高,重復性好。
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流量控制器內存在水汽有多糟解決方法
如果ALICAT質量流量控制器內滲入水汽,情況則不至于那么糟。與熱式原理不同,ALICAT質量流量計、質量流量控制器采用層流壓差技術,依托專利的層流片結構將氣體由湍流轉為層流運動,氣體流量控制器哪里有,通過測量層流片兩端氣體壓力差的方法來測量流量。
上述水處理工廠無法忍受每次滲入水汽后都不得不采購一批新的質量流量控制器,終將所有熱式原理的儀器替換成了ALICAT。而今,當再有液態氨進入到質量流量計或質量流量控制器內部時,只需簡單地用高壓氨氣沖洗管路后進行消毒即可。
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流量控制器的原理是什么?
質量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調節閥門和放大控制器等部分組成。質量流量控制器的剖面結構圖見圖1。氣體流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量(無需溫度壓力補償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較, 再將差值信號放大后去控制調節閥門,閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質量流量控制器配套的流量顯示儀上設置有穩壓電源,數字電壓表,氣體流量控制器, 設定電位器, 外設、內設轉換和三位閥控開關等。氣體質量流量控制器與流量顯示儀連接后的工作原理。


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