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真空鍍膜機

真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發和濺射兩種。

需要鍍膜的被稱為基片，鍍的材料被稱為靶材。 基片與靶材同在真空腔中。蒸發鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發出來。當然設備和設備周圍的灰塵、油污對設備的本身的影響也是相當之大的。并且沉降在基片表面，通過成膜過程（散點－島狀結構-迷走結構-層狀生長）形成薄膜。 對于濺射類鍍膜，可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材，并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來，并且終沉積在基片表面，經歷成膜過程，終形成薄膜。

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真空鍍膜技術的應用領域

1.在裝飾品方面

隨著經濟的發展和生活水平的提高，人們喜歡將手表殼、表帶、服飾、燈飾、眼鏡架、室內外裝飾件、五金箱包、手機殼、手機視屏、衛生潔具、食品包裝等裝飾品精飾得五彩繽紛。

2.在刀具、模具等金屬切削加工工具方面

在生活中，我們會看到金黃色的、鈷銅色的、黑色的等七雜八色的鉆頭、銑刀、模具等，這些就是經過鍍膜技術加工后的涂層工具。

（1）金黃色的，是在刀具上涂鍍了TiN、ZrN涂層，TiN是代應用廣泛的硬質層材料。

（2）黑色的，是在切削工具上涂了TiC、CrN涂層。

（3）鈷銅色的，是在刀具上鍍涂了TiALN涂層。

3.在建筑玻璃和汽車玻璃上

建筑玻璃有透光和隔熱兩個基本功能。

普通玻璃能透過絕大部分太陽光輻射能量，這對采光和吸收太陽光線的能量十分有利。而對于空間紅外輻射，普通玻璃雖能阻止室內的熱量直接透過室外，但熱量被玻璃吸收后的二次散熱也會造成很大的損失。

隨著經濟的發展，普通玻璃已越來越不能滿足人們的要求，而陽光控制膜和低輻射膜正好能彌補了普通玻璃在這一方面的不足。陽光控制膜可以滿足低緯度地區降低室內溫度的要求；而低輻射膜則能滿足高緯度地區充分接受太陽輻射能量和1大限度阻止室內熱量外流的要求。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。

在玻璃上，鍍涂一層TiO2就能使其變成防霧、防露和自清潔玻璃，這種工藝在汽車玻璃上有很好的應用。

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真空鍍膜設備的日常維護

真空鍍膜設備的運行狀況直接影響生產工藝、產品質量和生產進程等，為了使設備的運行狀況良好，必須建立和完善設備的維護與維修制度、維護內容、維修標準等。

設備的維護要有日常維護和定期維護

1,日常維護就是在當天生產中發現設備有不良跡象，就馬上解決。發現機械泵的油少了就要添加，不要認為這油是定期更換的，等到了時間再維護，到時候可能泵的轉子就會磨損嚴重了。鍍膜機操作程序真空鍍膜機操作程序具體操作時請參照該設備說明書和設備上儀表盤指針顯示及各旋鈕下的標注說明。再比如工件轉架的軸承有些卡，就要更換軸承，而等到它徹底的壞了再換，問題可就大了，可能引起轉架電機燒毀等現象。

2定期維護，有人會問有了日常維護還有必要定期維護嗎?其實每一種設備都有自己的使用壽命，比如擴散泵用的的硅油，使用壽命為兩年左右，我就規定1年半把它換掉，這樣作是不是浪費，我覺得不浪費，從設備服務于生產來說是值得的，老板不希望看到的是機器在生產階段出現問題。只要你把日常維護和定期維護做好了，在延長設備壽命的同時，生產過程中出現故障的幾率也大大降低。生產效率也提高了。第四，斷定檢查儀器的最1小可檢漏率和檢漏靈敏性，以最1大規模的檢查出漏氣狀況，防止一些漏孔被疏忽，進步檢漏的準確性。

3,設備保養和維修1重要的是講究“細心”，每一個人都力求做到“我辦事，你放心”，也就是說我做的事情不需要別人和自己再有懷疑!做好這一點可少走好多彎路，其次是要善于分析現象，不能盲目的拆卸。說到這里，很多人都遇到過真空方面的漏氣問題，真空部分出現了問題很麻煩，再加上我們公司沒有檢漏儀，這就要分階段來找。使用磁控濺射的真空鍍膜機一般采用的是圓筒主體結構，結構上要保證快速抽空，因氣袋會緩慢的放氣，因此要避免出現隔離孔穴，真空系統上端會加裝磁控濺射槍，為了使真空室和元件有足夠的強度，保證在外部和內部的作用力下不產生形狀的變化，厚度需要足夠。

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