射頻磁控濺射在線咨詢【創世威納】

磁控濺射的工作原理

是指電子在電場E的作用下，在飛向基片過程中與原子發生碰撞，使其電離產生出Ar正離子和新的電子；新電子飛向基片，Ar離子在電場作用下加速飛向陰極靶，并以高能量轟擊靶表面，使靶材發生濺射。在濺射粒子中，中性的靶原子或分子沉積在基片上形成薄膜，而產生的二次電子會受到電場和磁場作用，產生E（電場）×B（磁場）所指的方向漂移，簡稱E×B漂移，其運動軌跡近似于磁控濺射一條擺線。若為環形磁場，則電子就以近似擺線形式在靶表面做圓周運動，它們的運動路徑不僅很長，而且被束縛在靠近靶表面的等離子體區域內，并且在該區域中電離出大量的Ar 來轟擊靶材，從而實現了高的沉積速率。隨著碰撞次數的增加，二次電子的能量消耗殆盡，逐漸遠離靶表面，并在電場E的作用下終沉積在基片上。由于該電子的能量很低，傳遞給基片的能量很小，致使基片溫升較低。創世威納——專業生產、銷售磁控濺射鍍膜機，我們公司堅持用戶為上帝，想用戶之所想，急用戶之所急，以誠為本，講求信譽，以產品求發展，以質量求生存，我們熱誠地歡迎各位同仁合作共創輝煌。磁控濺射是入射粒子和靶的碰撞過程。入射粒子在靶中經歷復雜的散射過程，和靶原子碰撞，把部分動量傳給靶原子，此靶原子又和其他靶原子碰撞，形成級聯過程。在這種級聯過程中某些表面附近的靶原子獲得向外運動的足夠動量，離開靶被濺射出來。

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磁控濺射鍍膜儀設備在工業中有什么優勢

磁控濺射鍍膜儀設備發展至今，在工業方面顯的極為重要，其作用范圍廣泛，徹底的改變了傳統的鍍膜行業。使得鍍膜作業在生產質量方面以及效率方面都得到了較大的提升。那么磁控濺射鍍膜儀設備在工業中有什么優勢呢？

磁控濺射鍍膜儀設備主要有一下優勢：

1、沉積速度快、基材溫升低、對膜層的損傷小；

2、對于大部分材料，只要能制成耙材，就可以實現濺射；

3、濺射所獲得的薄膜與基片結合較好；

4、濺射所獲得的薄膜純度高、致密性好、成膜均勻性好；

5、濺射工藝可重復性好，可以在大面積基片上獲得厚度均勻的薄膜；

6、能夠準確控制鍍層的厚度，同時可通過改變參數條件控制組成薄膜的顆粒大小；

7、不同的金屬、合金、氧化物能夠進行混合，同時濺射于基材上；

8、易于實現工業化。

隨著科技的發展，磁控濺射鍍膜儀設備在日常中個方面都有著極大的貢獻，不僅在節能環保方面有著重大的提升，更為重要的是其解放了勞動人民的雙手，讓勞動者徹底的從傳統鍍膜行業中解放。

磁控濺射

磁控濺射是物理氣相沉積（Physical Vapor Deition，PVD）的一種。一般的濺射法可被用于制備金屬、半導體、絕緣體等多材料，且具有設備簡單、易于控制、鍍膜面積大和附著力強等優點。

磁控濺射包括很多種類。各有不同工作原理和應用對象。但有一共同點：利用磁場與電場交互作用，使電子在靶表面附近成螺旋狀運行，從而增大電子撞擊氣產生離子的概率。所產生的離子在電場作用下撞向靶面從而濺射出靶材。