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              高純供氣系統廠家給您好的建議

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              發布時間:2020-10-18 16:29  






              電子特氣系統的維護


              由于特氣系統是一種具有高風險的供應系統,因此在生產線現場的維護需要專業、有經驗的技術員完成。特氣系統的維護主要包含氣體柜維護和管路維護。

              (1)特氣柜又分為全自動特氣柜與半自動特氣柜,每種氣柜的維護方法有一定的區別。全自動氣柜維護自動化程度較高,并且安全可靠。在維護前關閉鋼瓶閥門,設置換瓶吹掃,程序自動進行抽氣,置換等動作,根據氣體性質的不同,一般至少吹掃60次以上,負壓保壓30分鐘以上,確保氣柜各管路與閥門吹掃干凈。在測定放1射性物質時,使用的混合氣有下列幾種組成:含異丁烷0。

              (2)管路的維護,由于不同的氣體性質不一樣,對管路維護的方法也不相同,對腐蝕性氣體的管道需要多次用高純氮氣吹掃(N2purge),一般至少反復30次,對于有吸附性的液態源氣體,由于管路容易堵塞,需要多次的反復的抽真空,抽完后關閉閥門,1小時后會出現壓力表回表的現象,會造成管道泄漏的誤導,遇到此情況打開真空器發生器繼續抽,直到沒有吸附氣體釋放為止。2、閥座檢漏法采用閥門上游充氦氣,下游抽真空的方法檢漏,測試管路系統的泄漏率。

              以上兩種系統維護后都必須做正壓與負壓的保壓測試,一般正壓保壓壓力為使用壓力的1.2倍,負壓保壓為-12PSI,保壓時間至少120分鐘以上,由于壓力傳感器(PT)受溫度的影響,一般有2PSI的正負波動。

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              特種氣體的應用

              電子工業是當今推動科技發展的高新技術產業,由于所用氣體的品種多、質量要求高,為有別于其它領域應用的氣體,人們把這類在電子工業中用的氣體統稱為電子特種氣體,它是當今興起的高技術含量、高投入、高附加值的高新技術產業。電子行業常用的特氣超過三十余種,按危險性質可分為不燃氣體、可燃氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。按照物理形態可分為壓縮氣體、液化氣體和低溫氣體。并能夠保證標準氣體流量、壓力穩定和量值傳遞不發生變化,滿足分析檢測設備對使用氣體的技術要求。

              特種氣體的應用領域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產四大領域,其中主要應用于半導體集成電路的生產制造。在半導體工業中應用的有110余種單元特種氣體,其中常用的有20~30種。

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              電子特氣管道系統氦檢漏檢測規定

              1、氦檢漏儀表應采用質譜型氦檢測儀,其檢測精度不得低于1*10-10mbar*l/s。

              2、特氣系統,內向測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-9mbar*l/s;

              3、閥座測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s;

              4、外向測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s。

              氦檢漏發現的泄漏點經修補后,應重新經過氣密性試驗,合格后再按規定進行氦檢漏。所有可能泄漏點應用塑料袋進行隔離。系統測試完畢,應充入高純氮氣,并進行吹掃。測試完畢后,應提交測試報告。



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