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電子束鍍膜與電阻鍍膜的區別

電子束蒸鍍與利用電阻進行蒸鍍的優勢在于：可以為待蒸發的物質提供更高的熱量，因此蒸鍍的速率也更快；電子束定位準確，可以避免坩堝材料的蒸發和污染。但是由于蒸鍍過程中需要持續水冷，對能量的利用率不高；而且由于高能電子可能帶來的二次電子可能使殘余的氣體分子電離，也有可能帶來污染。此外，大多數的化合物薄膜在被高能電子轟擊時會發生分解，這影響了薄膜的成分和結構 。沈陽鵬程真空技術有限責任公司——專業電子束供應商，我們為您帶來以下信息。

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電子束操作及注意事項

①電子槍工作前必須檢查水流是否正常，工作過程中務必保證水壓、水流量指示，否則將造成坩堝損壞。?

②電子槍起動真空度6.7×10-3Pa。?

③蒸發前電子槍的陰極燈絲應預熱，預熱電流為0.6A，預熱時間新陰極5分鐘以上（應緩慢調至0.6A，以防陰極變形），舊陰極2分鐘即可。?

④蒸發前對材料先預熱除氣。?

⑤蒸發完后，按下列順序關閉高壓電源：關蒸發檔板→關閉高壓→燈絲電源調至預熱0.6A的位置→關閉束流調節電源并調至低位置→關閉磁場電源，工作時操作順序與此順序相反。?

⑥電子槍燈絲停止加熱后，要停留10分鐘以上才能向蒸發室放氣

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電子束鍍膜有哪些特點？

以下內容由沈陽鵬程真空技術有限責任公司為您提供，希望對同行業的朋友有所幫助。

★ 完全封閉的系統框架設計，外觀更漂亮，使用更安全；是一臺兼具美學和用戶操控體驗的全新升級產品；

★ 前開門真空腔體，方便取放基片、添加蒸發材料以及真空室的日常維護；

★ 可定制一體化高的精度刻蝕掩膜板；基片臺公轉，轉速0～25rpm連續可調；平板基底襯底可選擇加熱或水冷；

★ 更優的薄膜均勻性和重復性，采用進口膜厚監控儀在線監測和控制蒸發速率、膜厚；

★ 可沉積金屬（Au, Ag, Al, Ti, Pt, Mo, Fe, Cr, Ni等）、化合物（ITO等）及有機物材料（進口電子槍）。