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              發布時間:2020-07-15 16:29  






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              鍍膜工藝流程中工藝參數的控制和對膜層沉積的影響:

              本底真空度: 本底真空度越高爐內雜氣量(包括水氣)越少,這保證鍍膜時反應氣體的純度,從而保證膜層顏色的純正和光澤鮮亮。一般本底真空應該進入5-7*10-3。

              電子束蒸發源蒸鍍法

              將蒸發材料放入水冷銅坩鍋中,直接利用電子束加熱,使蒸發材料氣化蒸發后凝結在基板表面成膜,是真空蒸發鍍膜技術中的一種重要的加熱方法和發展方向。電子束蒸發克服了一般電阻加熱蒸發的許多缺點,特別適合制作熔點薄膜材料和高純薄膜材料。


              真空鍍膜:一種產生薄膜材料的技術。在真空室內材料的原子從加熱源離析出來打到被鍍物體的表面上。此項技術用于生產激光唱片(光盤)上的鋁鍍膜和由掩膜在印刷電路板上鍍金屬膜。


              反應濺射就是在反應氣體環境中鍍膜,濺射過程中靶材會與濺射氣體發生化學反應。反應濺射一般沉積不導電的膜層,例如:Snox,ZnOx,Siox,SiNx等。在反應濺射系統中,一般都加入Ar加速反應速度,即提高濺射速率。在反應濺射氣氛中,加入工作氣體越多,濺射速率越高,當加入的工作氣體過多時,反應氣體來不急將所有濺射出來的原子反應掉,膜層內就會含有金屬,我們把這種狀態叫翻轉。在反應濺射過程中,無論翻轉與正常狀態,靶的濺射速率都沒有不反應濺射速率高。因此不反應濺射所使用的氣體為惰性氣體,一般使用y氣(Ar),稱為工作氣體。


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