羅茨真空泵愛德華真空泵

半導(dǎo)體加工我們繼續(xù)革新技術(shù)解決方案，這些解決方案將會(huì)提升制程正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間、產(chǎn)量、吞吐量與安全認(rèn)證水平，同時(shí)通過減輕不利于環(huán)境的排放、延長產(chǎn)品使用壽命并降低持續(xù)服務(wù)成本，努力協(xié)調(diào)平衡往往相互沖突的更低擁有成本要求。

所有居于地位的制程工具 OEM，以及全球每一家主要半導(dǎo)體工廠都采用了我們的系統(tǒng)，因?yàn)樗鼈兡軌驖M足成熟制程與發(fā)展中制程的具體要求。提供干式真空泵、渦輪分子泵與使用點(diǎn)減排系統(tǒng)等各種系統(tǒng)，用來優(yōu)化從輕負(fù)荷制程到超重負(fù)荷制程的各項(xiàng)應(yīng)用的性能表現(xiàn)。 平版印刷平版印刷（即晶圓的圖案形成）是半導(dǎo)體 制程中的一個(gè)關(guān)鍵步驟。技術(shù)數(shù)據(jù)GV80GV160GV250GV400GV600構(gòu)造3爪 1桿2爪 1桿3爪式3爪式3爪 1桿排量（工作容積）91。雖然傳統(tǒng)甚至浸潤式平版印刷 一般不需要真空環(huán)境，但遠(yuǎn)紫外 (EUV) 平版印刷和電子束平版印刷卻需要真空 泵。Edward可以讓您有效應(yīng)對這兩種應(yīng)用。

EUV 平版印刷泵送解決方案

多重圖案形成技術(shù)有其存在的價(jià)值， 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷，因?yàn)檩p型 EUV 系統(tǒng) 提供極短的波長。要讓您的系統(tǒng)具有 性能，真空環(huán)境是關(guān)鍵。真空系統(tǒng)的 清潔性尤其重要，它有助于延長維修間隔。適用于鋰離子電池制造設(shè)備的全球真空泵制造商鋰離子電池正在推動(dòng)全世界的環(huán)保議程，可靠的高質(zhì)量真空是其制造過程中的關(guān)鍵因素。我們 與 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作開發(fā)了 精密真空系統(tǒng)，可為您進(jìn)行的大型投資提供 可靠性。

電子束平版印刷解決方案

電子束平版印刷在硅晶片的圖案形成中 具有重要作用。低振動(dòng)的清潔真空對于確保系統(tǒng)的精密性 和長正常運(yùn)行時(shí)間至關(guān)重要。

我們的產(chǎn)品解決方案

您可能需要使用渦輪分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上實(shí)現(xiàn)超高真空。我們的 STP 系列 TMP 采用 完全磁懸浮轉(zhuǎn)子以降低艙室污染風(fēng)險(xiǎn)并延長 維修間隔。7lbh-1重量105kg/231lb電機(jī)保護(hù)額定值IP44或IP54電機(jī)功率50Hz2。目前開發(fā)的產(chǎn)品通過將控制器集成到 泵本身中來降低總成本和占地面積，不再需要 外部控制器和控制器與泵之間的沉重控制 電纜。

真空泵泵體振動(dòng)大時(shí)，與其相連的進(jìn)排氣管線振動(dòng)也較大，基礎(chǔ)及底座振動(dòng)不大，可以排除基礎(chǔ)固定松動(dòng)等原因，主要原因出于上海真空泵泵體本身。

(1)閥片斷裂：當(dāng)閥片斷裂時(shí)，上海真空泵泵體振動(dòng)厲害，噪音很大，一般表現(xiàn)為軸向振動(dòng)較大。

上海真空泵

(2)轉(zhuǎn)子葉片結(jié)垢：葉片結(jié)垢后，造成轉(zhuǎn)子質(zhì)量不平衡，旋轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生振動(dòng)。此種因素一般影響較小。

(3)上海真空泵聯(lián)軸器橡膠墊損壞：橡膠緩沖墊損壞甚至被磨成粉末甩出，造成聯(lián)軸器的兩個(gè)對輪副直接碰磨，加劇轉(zhuǎn)子振動(dòng)。工作中一定要使用質(zhì)量好的緩沖墊并經(jīng)常檢查。