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發布時間:2020-10-05 00:27  





電池片的制作工藝
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PECVD
PE 目的
在硅片表面沉積一層氮化硅減反射膜,以增加入射在硅片上的光的透射,減少反射,氫原子攙雜在氮化硅中附加了氫的鈍化作用。
其化學反應可以簡單寫成 : SiH 4 NH 3 =SiN:H 3H 2 。
基本 原理
PECVD 技術原理是利用低溫等離子體作能量源,樣品置于低氣壓下輝光放電的陰極上,利用輝光放電(或另加發熱體)使樣品升溫到預定的溫度,然后通入適量的反應氣體,氣體經一系列化學反應和等離子體反應,在樣品表面形成固態薄膜。 PECVD 方法區別于其它 CVD 方法的特點在于等離子體中含有大量高能量的電子,它們可以提供化學氣相沉積過程所需的激活能。電子與氣相分子的碰撞可以促進氣體分子的分解、化合、激發和電離過程,生成活性很高的各種化學基團,因而顯著降低 CVD 薄膜沉積的溫度范圍,使得原來需要在高溫下才能進行的 CVD 過程得以在低溫下實現。
基本特征
1. 薄膜沉積工藝的低溫化( < 450 ℃ )。
2. 節省能源,降低成本。
3. 提高產能。
4. 減少了高溫導致的硅片中少子壽命衰減。
擴散方式
PE 設備有兩類:平板式和管式。
按反應方式分為:直接式(島津)和間接式( Roth & Rau )。
直接式:基片位于一個電極上,直接接觸等離子體。
間接式:基片不接觸激發電極。 在微波激發等離子的設備里,等離子產生在反應腔之外,然后由石英管導入反應腔中。在這種設備里微波只激發 NH3 ,而 SiH4 直接進入反應腔。間接 PECVD 的沉積速率比直接的要高很多,這對大規模生產尤其重要。
影響因素
1. 印刷壓力的影響
在印刷過程中刮膠要對絲網保持一定的壓力,且這個力必須是適當的。印刷壓力過大,易使網版、刮膠使用壽命降低,使絲網變形,導致印刷圖形失真。印刷壓力過小,易使漿料殘留在網孔中,造成虛印和粘網。在適當的范圍內加大印刷壓力,透墨量會減小(漿料濕重減小),柵線高度下降,寬度上升。
2. 印刷速度的影響
印刷速度的設定必須兼顧產量和印刷質量。對印刷質量而言,印刷速度過快,漿料進入網孔的時間就短,對網孔的填充性變差,印刷出的柵線平整性受損,易產生葫蘆狀柵線。印刷速度上升,柵線線高上升,線寬下降。印刷速度變慢,下墨量增加,濕重上升。
3. 絲網間隙的影響
在其他條件一定的情況下,絲網間隙與濕重大致有如右圖的關系:兩者幾乎呈比例上升,之后絲網間隙加大,濕重降低,后突然變為零。絲網印刷時使用的是曲線的前半段(即呈比例上升段)。由此可知,絲網間隙加大,下墨量多,濕重增大。絲網間隙過大,易使印刷圖形失真;過小,容易粘網。 刮膠硬度的影響 刮膠材料一般為聚胺脂或氟化橡膠,硬度 60 -90A 。刮膠硬度越大,印刷的圖形越準確,原圖的重現性越好。因此,正面柵線的印刷就需要選用硬度較高刮膠。刮膠硬度小,其他參數不變的情況下濕重就大,線高增加,線寬變大。
太陽電池片標準
太陽電池片標準
4.1.6 外觀
電池的顏色應均勻一致,無明顯的色差、水痕、手印等外觀缺陷。
電池的崩邊、鈍性缺口等外形缺損的尺寸要求:長度不大于 1.5mm ,由邊緣向中心的深度不大于0.5mm ,同一片電池上正面出現此類外形缺損數量不超過三處。同時不允許電池上有肉眼可見的裂紋以及 V 形缺口。
4.2 力學性能
4.2.1 彎曲變形
一般情況下,電池的彎曲變形用電池的彎曲度來衡量。不同尺寸規格的電池允許的大彎曲度應在產品詳細規范中規定。
4.2.2 電極附著強度或電極 / 焊點的抗拉強度
電極附著應牢固,電極附著強度或電極 / 焊點的抗拉強度不小于1.22N/mm. 。
4.3 電性能
4.3.1 電性能參數的溫度系數
應按照電池使用要求的溫度范圍,測量其電性能參數的溫度系數。
4.3.2 電性能參數
電池電性能參數(包括低輻照度性能)應在產品詳細規范中規定。
4.4 熱循環試驗
經 -40 °~ 85 °溫度循環 5 次后,電池的外觀,力學性能符合本標準規定的要求,電池的轉換效率衰減不超過 3% 。