冰箱.冷柜內膽真空箱氦檢漏系統給您好的建議「科儀創新真空」

氦質譜檢漏儀的主要配置

科儀產品主要有：薄膜制備設備，真空冶金設備，檢漏設備，真空系統等非標真空產品；系列分子泵，離子泵，鈦升華泵，深冷捕集泵等高真空獲得設備；系列干式渦旋泵，干式爪泵，干式螺桿泵等無油真空獲得設備；由于He具有無色、無臭、無活性、不可燃的特性，因此一般檢漏都采用氦氣(He)作為示漏氣體，但也有用氫氣(H)作為示漏氣體的，考慮到它的化學性質及危險性，在應用中較少使用，所以實際大部分檢漏使用的都是氦氣。超高真空環境模擬設備等高新技術產品。今天科儀的小編就和大家分享一下氦質譜檢漏儀的主要配置有哪些，希望對您有所幫助！

1. 檢漏儀專用分子泵

2. 機械泵或者干泵

3. 定制檢漏儀專用電磁閥

4. 內置標準漏口

5. 放大器

6. 采用質譜專用模塊

以上是科儀為您一起分享的內容，科儀專業生產氦檢漏，歡迎新老客戶蒞臨。

氦質譜檢漏儀的基本原理與結構

隨著科技的迅猛發展，氦質譜檢儀及其應用技術也在不斷發展和究善。各國的設備廠商相繼推出了多種類烈的氦質譜檢涮儀，廣泛應用丁航空航天，電力電子，汽車等各個行業，綜觀較新氦質譜檢漏儀的性能特點發現，氦質譜檢漏儀正向著高靈敏度、自動化、寬程、等先進方向發展，這些特點很好地滿足了當前檢漏應用的需求，也極大的推動了氮質譜檢漏技術的不斷發展。氦質譜檢漏儀的基本原理與結構氦質譜檢漏儀一般由質譜管，真空系統和電子系統組成。氦質譜檢漏儀的應用拓展一航空航天高科技工業1）例如火箭發動機及姿態發動機，過去是打壓刷肥皂水檢漏，現在重新改進工藝用氦質譜檢漏儀檢漏，采用正壓吸槍與氦罩法結合，使檢漏靈敏度大大提高，從而保證了發動機質量。其中質譜管包括離子源，質量分析器和離子檢測器; 真空系統一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以一定能量注入質分析器，

目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質分析器的作用起將各類離子按其質荷比的不同實現分離。

離子檢測器的作用是手機質量分析器所選定的氦離子流并加以放大，再通過比對運算，得出泄漏率

真空系統的作用是獲取質譜過程所需的真空，同時完成被檢件的抽空和氦氣的引入。真空系統一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成組成。按照真空系統的不同結構，檢漏儀分為常規系統和逆擴散兩種。常規系統多用于早期的氦質譜檢漏儀，該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮氣首先到達質譜管被檢到，因而具有較高的靈敏度，但是會對質譜管有污染。筆者測算，在測試到數量級為10-9Pa?m3/s的微漏漏點時，清除時間約須1分鐘。逆擴散系統檢漏儀與常規系統相比，被檢件只與低真空相通，因此只需將被檢工件抽至低真空就能進行檢漏，氦氣是逆擴散到質譜管，不會對系統有污染，因此被廣泛采用，已成為市場的主流的產品。

機械泵的工作方式不一樣，分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀，油泵工作會有油霧排出，污染工作環境，干泵沒有油霧排出對工作環境沒有影響。在半導體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。

氦質譜檢漏儀的應用拓展（四）

（1）制冷行業

冰箱、空調、汽車用空調、蒸發器、冷凝器、奪縮機、低溫儲槽。

（2）不銹鋼保溫器皿

真空保溫杯、瓶、鍋、飯盒等。

（3）其它

據日本有關文章介紹，日本汽車制造業，已有30多種零部件在使用氦質譜檢漏儀檢漏，解決密封問題。其中包括液壓系統、制動系統、轉向系統、避震系統、汽車輪轂。

有待于開拓的檢漏領域還很多，但由于思想觀念的束縛以及經費等諸多原因，在很多領域還一直沿用古老且較為落后的手段處理泄漏問題。產品合格率和生產效率低。從某種意義上講，這種工作方式制約了生產力的發展。氦質譜檢漏儀的進展經過近半個世紀的努力，今天的氦質譜檢漏儀已告別了四十年代初期的情形。因此，對于真空專業技術人員，特別是從事真空設備的研制和生產氦質譜檢漏儀的專業廠家，應在氦質譜檢漏儀的應用推廣上進一步下功夫，為推動我國真空技術的發展而努力。

科儀擁有先進的技術，我們都以質量為本，信譽高，我們竭誠歡迎廣大的顧客來公司洽談業務。如果您對 氦檢漏感興趣，歡迎點擊左右兩側的在線客服，或撥打咨詢電話。

氦質譜檢漏儀的注意事項

檢漏儀的響應時間會影響檢漏工作的速度，正常運行的儀器響應時間不大于3s。筆者實測時，在漏點處噴射氦氣5～10s后，檢漏儀就發生響應，對于如此龐大的真空系統，其反應是相當的靈敏。

檢漏時噴槍在漏孔處停留的時間應為儀器響應時間的3倍，該時間再加上氦氣在真空系統中的傳遞時間，即為兩次噴氦的較小間隔時間，當然真空系統越龐大，該間隔時間也越長。筆者根據實測經驗，兩次噴氦的較小間隔時間控制在30s左右，即如果次噴氦后30s內檢漏儀還沒有反應,則可進行第二次噴氦。這樣，它們在分析器中的偏轉半徑相差也大，容易分開，定標找氦峰時，不易受其他離子的干擾，因此就降低了對分析器制造精度的要求，易于加工。

清除時間在理論上與響應時間相同，但由于儀器零件對氦的吸附和脫附作用的影響,清除時間一般要更長些。筆者測算，在測試到數量級為10-9P a ?m3/s的微漏漏點時，清除時間約須1分鐘；背壓法的缺點是不能進行大型密封容器的漏，否則由于密封腔體容積太大，導致加壓時間太長。在測試到數量級為10-8P a ? m3/s的中漏漏點時，清除時間約須2分鐘；在測試到數量級為10-7Pa?m3/s的大漏漏點時，清除時間在3分鐘左右。