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發布時間:2021-03-30 02:27  
空氣由空調箱經風管與無塵室內之空氣過濾器(HEPA)進入無塵室,并由無塵室兩側隔間墻板或高架地板回風。A、材質:棉質發塵量大,以下依次為棉、的確良、去靜電純滌綸、尼龍。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。亂流無塵室靠送風氣流不斷稀釋室內空氣,將污染空氣逐漸稀釋,來實現潔凈的。氣次數決定定義中的凈化級別(換氣次數越多,凈化級別越高)。此型式適用于無塵室等級1,000-100,000級。
無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間,其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當的微粒潔凈度級別。分析國外試驗資料可以認為⑴無塵室內當工作人員穿無菌服時:靜止時的發菌量一般為10-300個/min。無塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間?!瘟飨蛐蜔o塵室,很多都是設計成垂直層流,因此風速均勻度非常重要,只有均勻的垂直層流,才能有效排除微粒污染。非單流向型無塵室,由于微粒控制的觀念是稀釋,不是立即排除,一般而言其換氣量遠比風速重要,因此多只需要測量風量。
無塵潔凈室中的三塵。并裝局部無塵室(CleanSpot):將無塵室等級10,000~100,000之亂流無塵室內之產品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產之用。無塵潔凈室有三大原則:禁塵、帶塵、產塵。風淋室作為進入潔凈室的緩沖通道之一,是控制帶塵的好凈化設備之一,它可以大限度地減少員工進出無塵潔凈室所帶來的污染問題。風淋室的兩道門電子互鎖,可以兼起氣閘室的作用,阻止外界污染和未被凈化的空氣進入無塵潔凈區域,達到生產車間所要求的生產潔凈環境。
(1)FFU用于老建筑物改造成潔凈室時,其綜合經濟性一般往往可取。
(2)潔凈度要求嚴的潔凈室,末級過濾器滿布率時,對大的系統采用FFU,當前還是不經濟的;對小系統有意義作具體比較。
(3)對潔凈度要求不甚嚴的潔凈室,末級過濾器滿布率≤40%時對大系統綜合經濟性往往相差不多,但對IC工廠而言FFU系統的靈活性是重要的,因此當前IC工廠對過濾器滿布率≤40%時,采用FFU系統已經普遍。