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發布時間:2020-10-29 11:08  
空氣由空調箱經風管與無塵室內之空氣過濾器(HEPA)進入無塵室,并由無塵室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。亂流無塵室靠送風氣流不斷稀釋室內空氣,將污染空氣逐漸稀釋,來實現潔凈的。氣次數決定定義中的凈化級別(換氣次數越多,凈化級別越高)。洗滌衣置放場所須為潔凈室,備用品或新品存放柜內,正使用者則吊掛衣架上,以為方便取用。此型式適用于無塵室等級1,000-100,000級。
無塵室內防止微粒子污染的基本原則:
不攜入
在無塵室內不攜入微粒子的方法有:
作業員進入無塵室前,機臺、零件攜入前應進行清潔處理;
進入無塵室者在更衣室要穿著不發塵、不產生靜電的具特殊導電性纖維材質的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。
通過風淋室時利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后,才能進入無塵室。
機器及材料帶進無塵室前,應盡可能在密封狀態下帶進無塵室前室保養后用超純水擦拭,經風淋室吹淋后才進入無塵室。
無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。
若能徹底實施“不攜入”技術,無塵室內的潔凈度就可以維持。但現實中人和物品的頻繁出入及制造機臺的掣動,在廣大的無塵室內要有完全潔凈度是不可能的。控制氣流可防止微粒子累積,但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著,通常在無塵室內會使用帶電程度在數十伏以下的導電性材料。個人物品,例如煙、錢包、紙巾和紙制品,都要存放在辦公桌或者儲物柜里,不能把它們帶進潔凈室。而對于制造品本身的帶電,則采用帶電程度很少的搬送形態及接觸部品材料,并藉由除電裝置進行除電。