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發(fā)布時間:2020-10-31 06:48  
復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。⑴潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上,可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響了工作及品質(zhì),ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優(yōu)點:A.彈性擴充容易; B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。因物品在移動時,所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會造成發(fā)塵,而物品在移動時也會有微粒子的發(fā)生。
并裝局部無塵室(Clean Spot):將無塵室等級10,000~100,000之亂流無塵室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。潔凈工作臺:等級Class 1~100級。潔凈工作棚:為在亂流式之無塵室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,采用獨立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風機組而成為一較高之潔凈空間,其等級為10~1000級,高度在2.5米左右,覆蓋面積約10m2以下,四支支柱并加裝活動輪,可為彈性運用。潔凈衣材料以洗后或使用其他處理后仍不會變質(zhì)或發(fā)塵者為基本條件,且其布料為不燃、不起毛,其織法或布料組織不易通過污染物和不易附著污染物材質(zhì),另外經(jīng)過摩擦不產(chǎn)生靜電或帶電性非常,洗滌再生容易、不易皺、著衣感舒適等亦為選用考慮因素。
在潔凈室中,人是決定微粒污染物產(chǎn)生的重要因素。潔凈室內(nèi)工作的人員都應當充分了解個人衛(wèi)生習慣對潔凈室潔凈程度的影響有多大,這才是很重要的。
蘇州卓宇泰為您介紹潔凈室工作人員應遵循的規(guī)程,有關(guān)服裝和個人用品方面的要求,供讀者參考。至于珠寶首飾,工作人員可以戴結(jié)婚和訂婚戒指,但不要戴有尖角或者邊沿鋒利的戒指,因為它們可能會刺穿手套或者衣服。如果一定要戴這種戒指,就需要在戴手套和穿潔凈服之前用帶子把它們纏起來。建議不要佩戴懸垂式耳環(huán)、項鏈、胸針和其他凸出來的或者懸掛的飾品,即便它們一般都是藏在衣服里面,不要佩戴這些飾物。由于金屬半壁(彩鋼夾心板)的應用來自建筑表面的發(fā)塵也很少,一般占10%以下,發(fā)塵主要來自人,占90%左右。因為這些東西可能會干擾潔凈室或者實驗室的正常活動。