廣州高真空電子束鍍膜機報價給您好的建議

電子束結(jié)構(gòu)介紹

粒子增速器的結(jié)構(gòu)可以與顯像管類比。顯像管中的電子槍對應(yīng)于增速器的電子槍或離子源，顯像管中加速電子用的高壓電極對應(yīng)于增速器中的高壓加速電極及加速腔。用濺射的方法制鍍的薄膜附著性強，薄膜的純度高，可以同時濺射多種不同成分的材料，但是對靶材的要求高，不能象電子槍一樣節(jié)約資源。顯像管中控制電子運動的電偏轉(zhuǎn)板與聚焦電子的聚焦線圈，對應(yīng)于增速器中控制粒子運動軌道和聚焦粒子束流的多種電磁部件，如導(dǎo)向磁鐵、聚焦磁鐵、多極校正磁鐵等。對粒子增速器的粒子運行管道來說，為了減少粒子在運動中與殘余氣體碰撞而造成粒子的丟失和束流性能變壞，所要求的真空度比顯像管要高數(shù)千到數(shù)萬倍。隨著科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展，根據(jù)科學(xué)家對粒子能量和流強的不同要求，陸續(xù)產(chǎn)生了不同原理、不同結(jié)構(gòu)的多種增速器。

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電子束蒸發(fā)鍍膜機產(chǎn)品介紹

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產(chǎn)品配置：

★樣片數(shù)量及尺寸： 1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或傘形工件架（用戶定制）

★蒸發(fā)材料：金屬；非金屬；化合物等薄膜材料。

★蒸發(fā)腔體：高真空系統(tǒng)。

★蒸發(fā)不均勻性：≤±3%-±5％

★工件架：可旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速可調(diào)

★加熱：常規(guī)加熱

★電子槍：E型，帶XY偏轉(zhuǎn)掃描

★電子槍坩堝：6穴，17cc

★膜厚監(jiān)控功能：石英晶控膜厚在線監(jiān)測與終點控制

★清洗功能：可選配離子源清洗

★器件一次成型復(fù)合實驗系統(tǒng)：通過復(fù)合mask系統(tǒng)與樣品對準(zhǔn)系統(tǒng)，一次完成器件的多個工藝步驟

★檢測與控制光學(xué)特性的功能：可選配光控儀

★操作模式：全自動 半自動控制

電子束鍍膜機的特點/用途介紹

以下是沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司為您一起分享的內(nèi)容，沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司專業(yè)生產(chǎn)電子束，歡迎新老客戶蒞臨。

產(chǎn)品特點/用途：

?設(shè)備一體化設(shè)計，占地面積小，性能穩(wěn)定，性價比高，使用維護成本低；

?適用于實驗室制備金屬單質(zhì)膜、半導(dǎo)體膜、有機膜，也可用于生產(chǎn)線前期工藝試驗等；

?適用于制備光學(xué)薄膜、導(dǎo)電薄膜、半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜等。