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發布時間:2020-10-01 17:51  





風速的控制潔凈棚內的氣流是左右潔凈室性能的重要因素,一般潔凈室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間,此氣流速度屬微風區域,易受人、機器等的動作而干擾趨于混亂、雖提高風速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風速的提高,將影響運轉成本的增加,所以應在滿足要求的潔凈度水準之時,能以適當的風速供應,以達到適當的風速供應以達到經濟性效果。相對傳統無塵室,具有成本低、施工快、且對樓層高度要求低的優勢。
另一方面欲達到潔凈室潔凈度之穩定效果,均一氣流之保持亦為一重要因素,均一氣流若無法保持,表示風速有異,特別是在壁面,氣流會延著壁面發生渦流作用,此時要實現高潔凈度事實上很困難。不同的場合,不同的生產需要,我們可以靈活的選擇不同類型的潔凈工作棚。垂直層流式方向要保持均一氣流必須:(a)吹出面的風速不可有速度上的差異;(b)地板回風板吸入面之風速不可有速度上的差異。速度過低或過高(0.2m/s,0.7m/s)均有渦流之現象發生,而0.5m/s之速度,氣流則較均一,一般潔凈室,其風速均取在0.25~0.5m/s之間。
潔凈棚公司的溫濕度主要是根據工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢
具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。源泰爾總公司在深圳,注冊資金為500萬元人民1幣地址在深圳市南山區西麗鎮,是中國暖通爭化行業理事單位。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間不宜超過25度。
隨著工業生產水平的提高和進步,電子產品的直徑越來越小,生產廠家對空氣的潔凈度和對生產環境的潔凈等級要求的也是越來越高,如果整個無塵車間都按照所需的潔凈度去建造的話,那么建設成本是個很大的負擔,因此為了降低建造成本和產品的靈活運用,又能保證生產環境的要求,潔凈棚這個局部和區域性的凈化設備就隨之給生產廠家帶來了方便和快捷的無塵環境。潔凈棚公司通常都是建在潔凈室內,所以不需要考慮風淋室、傳遞窗以及空調送風系統,這些就大大節約了成本,總的來說潔凈棚的建造成本是無塵車間的40%-60%。