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 特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設備，一般應配置減壓裝置、真空發生器、、緊急切斷閥、過流開關、風壓事故報警、、壓力監測及報警等安全使用所必須的設施。排風管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動、半自動、全自動三類。包裝標志：有毒氣體。常溫下，干氯不腐　蝕鋼｛但在水和濕氣存在時，由于生成鹽酸和次氯酸。所以呈強腐蝕性應保持設備中無　水，管路、閥門和容器不用時應密封或加帽，從而與大氣中的濕氣隔離滅菌特種氣體的主要成分是環氧乙1烷(EO)又名氧化1乙烯，環氧乙1烷可殺滅細1菌（及其內孢子）、霉菌及真1菌，因此可用于消毒一些不能耐受高溫消毒的物品。

 特種氣體屬于工業氣體的一種。工業氣體是現代工業重要的基礎原料，根據不同氣體的生產工藝和用途，可以將工業氣體分為特種氣體、合成氣體、空分氣體三大類。氣體產品大致可以分為兩大類別, 即一般工業氣體和特種氣體。一般工業氣體是指經過空氣分離設備制造的普通級的氧氣和氮氣、經過焦爐氣分離或電解等方法制造出來的普通純度的其它種類氣體。硅片的蝕刻氣體（特種氣體）主要是氟基氣體,包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙1烷/氧氣、三氟化氮等。

 特種氣體廣泛應用于半導體制造行業,是超大規模集成電路、平面顯示器件、化合物半導體器件、太陽能電池、光纖等電子工業生產不可缺少的原材料,它們主要應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。特種氣體的應用領域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產四大領域,其中主要應用于半導體集成電路的生產制造。在半導體工業中應用的有110 余種單元特種氣體,其中常用的有20～30 種。特種氣體興起于60年代中期，作為基礎化工材料，主要運用于大型石油化工、半導體器件、光導纖維、激光、臨床診斷、水果催熟、食品保鮮等領域。隨著新產品技術的發展，其應用范圍也越來越廣泛。