氣體質量流量控制器公司常用解決方案「曉韜科技」

質量流量計簡介

質量流量：

以單位時間內流過某截面的流體質量表示的流量。氣體質量流量一般將其換算成標準狀態下的 體積/分鐘 來表示。例如：毫升/分鐘即 mL/min （SCCM行業標準）, 升/分鐘即 L/min （SLM行業標準）. 標準狀態為：氣體溫度—— 273.15K (0℃)； 氣壓——101325Pa(1atm)

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質量流量控制器的常見問題

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實際使用中發現，當輸入的氣體不同時控制顯示的數值與實際不符，其實原因很簡單，因為在MFC行業中，有一種參數叫CF，即氣體轉換系數（下面簡稱CF）。而MFC行業中又把N2（氮氣）定義為標準氣體M。N2的C值為1.00，其他的氣體以氮氣為中心，分布在0.1到1.4左右。CF大于1.00的代表氣體是單原子氣體He(氦)、Xe(氙)。和N2相近的氣體有02（氧氣）、H2（氫氣）、F2（氟）等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是幾種氣體的混合在一起的話，簡單的分析其比率，用各自的CF值計算即可。

假設某臺MFC是用N2標定的，但是實際流過的氣體是He，實際的流量比N2多。各個廠家的He的CF值稍有不同，但大約都在1.4，所以簡單的說就是He氣相同示數時，是N2的1.4倍流量。反過來，如果N2流過He的MFC，實際的流量大約是1÷1.4=約0.71，少30%的流量。

因此控制器發現流量不準時，考慮出廠標定CF是否與你的氣源相同。

氣體質量流量控制器的顯示方式

 觸摸屏顯示操作。這是一種智能化、自動化的操作方式，適合多氣路以及產品的集成，一鍵啟動，人機界面，具有靈敏的反應速度、易于交流、堅固耐用、節省空間等優點,是目前比較便捷、簡單、自然的一種人機交互方式,用戶只需用手指輕輕一點顯示屏上的圖標或文字就能操作,給人們的生活帶來了很大的方便。

該產品呈現出多元化的趨勢，針對不同的用戶、不同的使用環境而出現了分體式、組合式、臺式、便攜式等多種類型。體積小巧、功能強大、功耗低，可內置鋰電池或外置鋰電池，保證長時間的運行。