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用氦氣作為氦質譜檢漏氣體的原因

選擇示漏氣體(示蹤氣體）的原則是：它在空氣中及真空系統中的含量低；檢漏儀對示漏氣體的靈敏度高；它不會對人員、環境、被檢件及檢漏儀造成污染、傷害和安全隱患；價格低。

質譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體，主要原因如下：

1、氦在空氣中及真空系統殘余氣體中的含量極1少（在空氣中約含5.2ppm），在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因為本底小，由某些原因引起本底的波動，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反應出來，靈敏度高。

2、氦的質量小（相對分子質量為4），易于穿過漏孔。這樣，氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大，容易發現，靈敏度高。

3、氦是惰性氣體，不與被檢件器壁起化學反應，不會污染被檢件，使用安全。

4、在氦兩側的是氫（質荷比為2）和雙電荷原子碳（質荷比為6），質荷比都與氦相差較大。這樣，它們在分析器中的偏轉半徑相差也大，容易分開，定標找氦峰時，不易受其他離子的干擾，因此就降低了對分析器制造精度的要求，易于加工。同時，分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大，使更多的氦離子通過，提高了儀器靈敏度。

5、氦在被檢件及真空系統中不易被吸附。這樣檢出一個漏孔可以使氦信號迅速消失以便繼續進行檢漏，提高了儀器的檢漏效率。

6.氫氣有些性能（如質量小、易通過漏孔）比氦還好，然而由于氫一方面有易1爆危險，另一方面在油擴散泵中，由于油受熱裂解會產生大量的碳和氫，使氫本底極高且波動大，以致靈敏度大大降低，所以很少采用。

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氦檢漏設備的工藝流程

A1:安裝工件-----關真空箱門-----真空箱抽真空，同時工件內充高壓氮氣-----大漏及強度檢測;

B1:若A1檢測不通過，則系統報警，大漏工件序號顯示-----檢測程序中止;

B2:若A1檢測通過，放掉氮氣------對工件抽真空------真空箱內的氦氣本底抑零-----工件內充入氦氣-------真空模式，微漏檢測;

C1:若B2檢測不通過，則系統報警-----循環檢，小漏工件序號顯示------檢測程序中止;

C2:若B2檢測通過，真空箱內充入大氣，同時工件內氦氣回收-------真空箱開門，檢測完成。

氦檢漏設備簡介

中文名:真空檢漏

拼音:zhenkong jianlou

英文名:vacuum leak detection

真空系統、容器或器件的器壁因材料本身缺陷或焊縫、機械連接處存在孔洞、裂紋或間隙等缺陷，外部大氣通過這些缺陷進入系統內部，致使系統、容器或器件達不到預期的真空度，這種現象稱為漏氣。造成漏氣的缺陷稱為漏孔。漏孔尺寸微小、形狀復雜，無法用幾何尺寸表示，因此在真空技術中用漏率來表示漏孔的大小。漏率是指單位時間內漏入系統的氣體量，其單位為帕·米3/秒(Pa·m3/sec)或托·升/秒(Torr·L/sec)。

1Pa·m3/sec=7.5(Torr·L/sec)

真空檢漏技術就是用適當的方法判斷真空系統、容器或器件是否漏氣、確定漏孔位置及漏率大小的一門技術，相應的儀器稱為檢漏儀。在真空系統、容器、器件制造過程中借助真空檢漏技術確定它們的真空氣密性、探查漏孔的位置，以便采取措施將漏孔封閉從而使系統、容器、器件中的真空狀態得以維持。

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真空檢漏中三通的應用

深圳銳誠真空專業生產、銷售氦檢漏設備，我們為您分析該產品的以下信息。

氦質譜檢漏儀進行檢漏工作中，經常用到真空三通，真空三通作為一種管道配件，它可用于管道的分支和匯合。通俗得講，就是能將一條管道里的水進行分流，讓它分為兩條水流，也能將兩條管道的水流匯集在一起，變成一條水流。

真空三通不易腐蝕，擁有良好的抗沖擊性、抗凍性強而且抗老化，所以使用壽命很長，可達60年之久。此外真空三通質量輕而且連接方便，再加上它阻力少耐磨性強，在工程中使用可以節省大量成本，而且環保。真空三通適合于閥芯直徑大的場合,尤其是制作通流量較大的中低壓三通旋塞。在船舶甲板機械等通流量大的中低壓液壓系統中，真空三通也被廣泛使用。

真空三通多用直接在鋼管上接出支管，先在鋼管上用開孔機和開孔，再將機械三通卡幾個在孔洞，孔四周由密封圈沿管壁密封，真空三通用在直接在鋼管上接出支管。

首先在鋼管上用開孔機開孔，后將機械三通卡入孔洞，孔四周由密封圈沿管壁密封，機械三通分絲接與溝槽式兩種：正真空三通指支管與主管成90度的三通。

真空三通用在直接在鋼管接出支管。首先鋼管用開孔機開孔，后將機械三通卡入孔洞，孔四周由密封圈沿管壁密封。機械三通分絲接與溝槽式兩種，正三通指的是支管和主管成90度的三通。