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靜音真空泵維修離子鍍膜技術

PVD鍍膜(離子鍍膜)技術，其具體原理是在真空條件下，采用低電壓、大電流的電弧放電技術，利用氣體放電使靶材蒸發并使被蒸發物質與氣體都發生電離，利用電場的加速作用，使被蒸發物質及其反應產物沉積在工件上。

PVD鍍膜膜層的特點,采用PVD鍍膜技術鍍出的膜層，具有高硬度、高耐磨性(低摩擦系數)、很好的耐腐蝕性和化學穩定性等特點，膜層的壽命更長;同時膜層能夠大幅度提高工件的外觀裝飾性能。

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PVD鍍膜技術目前主要應用的行業,PVD鍍膜技術的應用主要分為兩大類：裝飾鍍膜和工具鍍膜。裝飾鍍的目的主要是為了改善工件的外觀裝飾性能和色澤同時使工件更耐磨耐腐蝕延長其使用壽命;這方面主要應用五金行業的各個領域，如門窗五金、鎖具、衛浴五金等行業。

工具鍍的目的主要是為了提高工件的表面硬度和耐磨性，降低表面的摩擦系數，提高工件的使用壽命;這方面主要應用在各種刀剪、車削刀具(如車刀、刨刀、銑刀、鉆頭等等)、各種五金工具(如螺絲刀、鉗子等)、各種模具等產品中。

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靜音真空泵維修在信息薄膜加工中的應用

近些年北京大學和科學院北京真空物理實驗室重點研究有機復合薄膜的超高密度信息存儲器件，其制備的關鍵技術是納米厚度的高質量功能薄膜。當今的薄膜形成過程中能夠保持真空純潔環境，故可以得到高質量的薄膜。物理氣相沉積（PVD）技術主要有蒸發、濺射鍍、離子鍍、分束外延和離子團束鍍等。

在分析了真空方法制備有機功能薄膜的幾種技術后，經比較認為，離子團束（ICB）沉積技術用于制備有機功能薄膜是適用的。它是將材料蒸發經過絕熱膨脹過程，電離過程形成荷電原子團，經歷加速被沉積到基底上。原子在基底表面具有較大的遷移率，這有利于薄膜的成核和晶粒生長，形成高質量的薄膜，通過控制絕熱過程，電離電壓，加速電壓和基底溫度可以制成晶體、多晶或無定形薄膜。

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輔助抽氣系統：

排氣系統為鍍膜機真空系統的重要部分，主要有由機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴散泵三大部分組成。此排氣系統采用“擴散泵 機械泵 羅茨泵 低溫冷阱 polycold”組成。

排氣流程為：

    機械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態，為擴散泵后繼抽真空提供前提，之后當擴散泵抽真空腔的時候，機械泵又配合油擴散泵組成串聯，以這樣的方式完成抽氣動作。

機械泵：也叫前級泵，機械泵是應用廣泛的一種低真空泵，它是用油來保持密封效果并依靠機械的方法不斷的改變泵內吸氣空腔的體積，使被抽容器內氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。

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