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   熱風循環烘箱類型與送風方式

熱風循環烘箱一般有加熱管，有循環風機的烘箱都可稱為熱風循環烘箱，因為不管烘箱什么結構，風向水平還是垂直，歸根到底都是熱風在里面循環，所以都可通稱為熱風循環烘箱，如電熱鼓風烘箱，對開門高溫滅菌烘箱等。但是一般行業中所稱熱風循環烘箱大多數還是特指如上圖所示的烘箱，其它烘箱都是由上圖烘箱演變而來，比如有了高溫滅菌的要求，風機改成風冷規范化的環風機，前后開門，風道也作出了改變，就變成對開門高溫滅菌烘箱。分別是單門單車，兩門兩車，兩門四車，三門六車，四門八車。熱風循環烘箱空氣循環系統采用風機循環送風方式，風循環均勻高l效。風源由循環送風電機（采用無觸點開關）帶動風輪經由加熱器，而將熱風送出，再經由風道 至烘箱內室，再將使用后的空氣吸入風道成為風源再度循環，加熱使用。確保室內溫度均勻性。當因開關門動作引起溫度值發生擺動時，送風循環系統迅速恢復操作狀態，直至達到設定溫度值。

無塵烘箱日保養

1.打掃設備表面及內腔灰塵，保持機器干凈、衛生。

2.檢查電流表是否正常，如有異樣，通知維修工檢修。

3.檢查風機運轉是否正常,有無聲音異常，如有請立即關閉機器并通知我司售后。

4.突然停電，要把加熱開關關閉，防止來電時自動啟動。

無塵烘箱月保養

1.維修工檢查電流是否正常。

2.檢查通風口是否堵塞,并清理積塵。

3.風機運轉是否正常。

4.檢查溫控器是否準確,如不準確,請聯系我司售后人員進行校正指導。

5.檢查發熱管有無損壞,線路是否老化。

6.檢查延l時器是否準確,誤差是否允許。

工業烘箱的常見故障分析

（1）循環風機不運轉原因；1、電流超高，斷路器開路；2、電機斷路；3、保險絲熔斷循環風機

不運轉解決辦法：1、斷路器復位2、更換電機3、更換保險絲

（2）加熱器不工作原因：1、電流超高，熱繼電器跳閘；2、電熱管燒壞；3、高溫線燒壞加熱器

不工作解決辦法：1、熱繼電器復位；2、更換電熱管；3、更換高溫線；

（3）抽風機不運轉原因：1、電流超高，斷路器開路；2、電機斷路；3、保險絲熔斷

抽風機不運轉解決辦法：1、斷路器復位；2、更換電機；3、更換保險絲；

（4）照明燈不亮原因:  1、保險絲熔斷；2、燈泡燒壞；

照明燈不亮解決辦法：1、更換保險絲；2、更換燈泡；

（5）烤房系統不能啟動原因：1、加熱管接地；2、電壓表沒有電壓顯示；

烤房系統不能啟動解決辦法：1、更換電熱管；2、檢查外部電源；

熱風循環烘箱在光刻中的應用是如何的？

1、在硅片上涂覆光刻膠{ */}。粘合劑或硅片放置在惰性氣體中進行熱處理。該工藝旨在提高光刻膠與硅片之間的附著力，防止顯影時間的延長，防止濕腐蝕過程。使用粘合劑的防腐劑。首先，采用真空法從膠粘機上的硅天花板上抽油，將吳定量的粘性光刻膠涂在幽l靈表面，然后時間設定涂層的速度和旋轉速度。在離心力作用下，光刻膠表面均勻分散，去除多余的光刻膠，獲得吳定厚度的光刻膠膜。膠厚控制膠的粘度和橡膠的速度，預干燥由于溶劑緩蝕劑作用，在80℃的硅片上，防腐劑是干的。微波爐是吳種惰性氣體，干燥時間通常在15-30分鐘之間的光刻膠清除器。

2、掩碼對齊

由于集成電路的制造過程是吳層的過程，所以每個層的位置不能移動。熱風循環烘箱吳般有加熱管，有循環風機的烘箱都可稱為熱風循環烘箱，因為不管烘箱什么結構，風向水平還是垂直，歸根到底都是熱風在里面循環，所以都可通稱為熱風循環烘箱，如電熱鼓風烘箱，對開門高溫滅菌烘箱等。掩模和晶片可以對齊在晶片上。