新北金屬化學氣相沉積性價比出眾

實踐證明，電子束鋼帶真空鍍膜具有很多優點：

（1）可選擇的鍍膜材料多而不受材料熔點限制。在裝飾性真空鍍膜中，依靠完善的涂料涂裝技術，可取得耐磨性強、結合力好、光亮度高的鍍層。能量密度很高的電子束可以使鍍膜材在很短的時間達到3000℃~6000℃。因此，除了熱鍍鋅中常見的鍍鋅、鋁、錫之外，幾乎所有的金屬材料都可以蒸鍍，還可鍍種類眾多的金屬氮化膜，金屬氧化膜和金屬炭化物及各種復合膜。這為發展新型帶鋼材料提供了很大的自由度。

（2）鍍膜材料利用率高，環境污染小。真空鍍膜屬干式鍍膜，沒有有害液體、氣體的產生。

國內外實踐證明，大功率電子槍是鋼帶連續真空鍍膜工藝的理想熱源。這是因為

（1）電子槍發射的電子束經聚焦后可達到極高的能量密度，轟擊坩堝鍍膜材料，可使其溫度達到3000℃以上，遠比電弧溫度高。

（2）電子束能量轉化率高達80%-90%，采用磁偏轉系統可以方便地進行電子束聚焦和掃描，加熱均勻。

（3）電子束只轟擊鍍膜材料表面，不會由于其它材料的摻入而引起夾雜問題。

（4）電子槍蒸發鍍膜機使用時的束斑直徑、電功率、加束電壓、掃描軌跡、頻率等參數都容易實現調節。

（5）使用電子槍還可以在鋼帶鍍膜生產過程中對被鍍鋼帶進行真空預熱，就是使用電子槍清潔鋼帶，轟擊表面使其活化。通過電子束不停的掃描，鋼帶表面溫度控制在200~550℃，這種預熱是鋼帶鍍膜和提高鍍膜附著力所必須的。

 釹鐵硼稀土磁性材料是一種問世不久的新型強磁材料。近年來在小型馬達、汽車電子，工具、揚聲器、電力工具等方面應用發展很快。Parylene的生物兼容性及其生物穩定性使其能夠提供良好的防潮、防化學和介電保護。但釹鐵硼稀土磁性材料弱點是容易被空氣中的水分及氧氣所腐蝕，因此必須有一個安全可靠的防護涂層釹鐵硼稀土磁性材料才有使用價值。目前國內常用兩種方法進行防護，一種是傳統的電鍍工藝在 鐵硼磁性材料表面鍍上鎳、鋅或錫、金等。這些涂層有時會影響磁性材料的表磁等特性，有的在鹽霧試驗時仍不能對釹鐵硼磁性材料提供有效的防護。另一種方法是用環氧樹脂材料進行電泳涂敷，但電泳涂敷時工件表面必須有一掛點，掛點的修補不僅費工費時，而且質量難以保證，而Parylene涂層技術可控制涂層厚度進行無支點全涂敷防護。Parylene又是一種透氧、透水汽率非常低的高分子薄膜材料，Parylene涂敷稀土磁性材料的技術和產品，目前國外小型釹鐵硼稀土磁性材料都已采用Parylene進行防護。

1. 房間隔缺損封堵器：派瑞林作為涂層置于傳統的鎳鈦合金封堵器表面，這種涂層超薄同形性好、耐腐蝕、與人體組織及血液良好相容，它不僅提供了惰性、生物相容的隔離層，還可有效的防止外界的化學品、水分和體液的侵蝕，同時增加了封堵器表面的干潤性和絕緣性能，并可防止鎳離子析出對細胞組織的損害。因為基材是塑料件，在注塑時會殘留空氣泡，有機氣體，而在放置時也會吸入空氣中的水分。

2. 壓力傳感器——敏感的電子器件如血壓傳感器，只需沉積少量Parylene就能充分絕緣，而且少量保護涂層不會明顯改變這些器件的操作。