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SF6氣體已有百年歷史，它是法國兩位化學家Moissan和Lebeau于1900年合成的人造惰性氣體，1940年前后，美國軍方將其用于曼哈頓計劃（核軍事）。

SF6是強電負性氣體，它的分子極易吸附自由電子而形成質量大的負離子，削弱氣體中碰撞電離過程，因此其電氣絕緣強度很高，在均勻電場中約為空氣絕緣強度的2.5倍。或以石英砂、玻璃作填料的環氧樹脂澆注件、模壓件以及瓷瓶、硅橡膠、硅脂等起化學作用，生成SiF4、Si（CH3）2F2等產物。SF6氣體在t≈2000K時出現熱分解高峰，因此在交流電弧電流過零時，SF6對弧道的冷卻作用比空氣強得多，其滅弧能力約為空氣的100倍。由于SF6氣體具有優良的滅弧性能和絕緣性能以及良好的化學穩定性，它從20世紀50年代末開始被用作高壓斷路器的滅弧介質。在超高壓和特高壓斷路器中，SF6作為滅弧介質，已取代油，并已大量取代了壓縮空氣。

純凈的SF6氣體雖然無毒，但在工作場所要防止SF6氣體的濃度上升到缺氧的水平。SF6氣體的密度大約是空氣的五倍、SF6氣體如有泄漏必將沉積于低洼處，如電纜溝中。濃度過大會出現使人窒息的危險，設計戶內通風裝置時要考慮到這一情況。

　　在電弧作用下SF6的分解物如SF4，S2F2，SF2，SOF2，SO2F2，SOF4和HF等，它們都有強烈的腐蝕性和毒性。因此在電力系統GIS等應用SF6的工作場所，要加裝SF6氣體泄漏監測設備。

電子捕獲ECD原理

電子捕獲檢測器（electron capture detector)，簡稱ECD。硫氟氧化合物如SOF2、SO2F2、SOF4等以及原料中帶入的雜質如HF、OF2、CF4、N2、O2等。 電子捕獲檢測器也是一種離子化檢測器，它是一個有選擇性的高靈敏度的檢測器，它只對具有電負性的物質，如含鹵素、硫、磷、氮的物質有信號，物質的電負性越強，也就是電子吸收系數越大，檢測器的靈敏度越高，而對電中性（無電負性）的物質，如烷烴等則無信號。

     為何會發生六氟化硫氣體中i毒？由于技術問題等原因，有些SF6氣體產品的純度不達標，出廠時就會帶有一些有害雜質。1）電化學技術（TGS830、TGS832）費加羅傳感器或鹵素氣體傳感器。還有一種情況是在處理SF6氣體設備時，人員操作不當，導致SF6電力設備泄 i露，有i毒有害物質泄 i露，導致六氟化硫氣體中i毒。當然也有部分企業在定期檢查檢漏時偷工減料，導致設備故障，從而發生六氟化硫氣體中i毒。

六氟化硫防護之工作人員防護措施：

      在有六氟化硫設備的工作場所，有關人員應該穿著專業的SF6防護服以及手套和工作鞋。在電弧作用下SF6的分解物如SF4，S2F2，SF2，SOF2，SO2F2，SOF4和HF等，它們都有強烈的腐蝕性和毒性。六氟化硫防護服采用特殊的材料制成，具有耐磨、柔韌性好的特點，不會影響人員活動自由，此外還能保護人體遠離無機酸、堿以及其它有毒有害分解物。如果在密閉空間內或者狹小的環境以及可能存在SF6泄i露的環境，使用防護面罩也屬于六氟化硫防護的內容。在對SF6電氣設備進行更換新的SF6氣體或者是檢漏、檢修、安裝維護的時候，為了避免吸入六氟化硫，減少中i毒的可能性，配帶專業的面罩和呼吸器很有必要！面部皮膚和眼睛如果直接暴露在氫i氟酸、二氧化硫等物質中，危害可不少。由于有些有毒物質是氣態存在的，呼吸時有可能進入體內，所以六氟化硫防護需要使用過濾器。這個過濾器就像防毒面具的過濾裝置一樣，裝有活性炭和其它分子復合附劑，過濾掉氫i氟酸、二氧化碳、氟化硫醯、十氟化二硫一氧，粉塵等，保護人員安全。