潽拓普發分子泵維修公司普發控制器「潽拓光電」

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德國 Pfeiffer Vacuum 普發真空

分子泵 Hipace 80/TMH 071 系列的工作原理

設計/工作原理

普發真空于 1958 年由 W. Becker 博士開發渦輪分子泵并獲 得。渦輪分子泵屬于動能

真空泵的范疇。它們的設計類 似于渦輪機的設計。多級、具有葉盤的渦輪狀轉子在殼體內 旋

轉。渦輪機或壓縮機的葉片被統稱為葉片裝置。轉子盤之 間插入的倒置鏡是具有類似幾何

形狀的葉片定子盤。

軸承

通過兩個球軸承安裝渦輪分子泵轉子軸需要將兩個球軸承都 安排在前真空側，因為軸承中

有潤滑劑。這導致轉子憑借其 較大質量產生的單邊（懸臂）支撐

電動機/驅動器

能夠提供旋轉頻率高達 1,500 Hz (90,000 rpm) 的無刷直流電 動機用于驅動轉子。這使得葉

片速度是泵送氣體所必需的。

如今，驅動器通常都是直接連接到泵上。電源是 24、48 或 72 伏的直流電，通過外部電源

包或集成在泵的電子單元中的 電源包產生電流

愛發科ULVAC真空泵

         株式會社ULVAC作為追求真空極限（Ultimate in Vacuum)的真空技術先驅，以電子技術及信息通信技術為首，在能源、環保、運輸、食品、化工、生物工程等廣闊的領域，以生產設備為中心、提供先進的真空技術產品。特別是在半導體制造設備及平面顯示器等制造設備方面，以真空技術為基礎，進行了各種技術開發，已經和正在提供作為制造工藝重要部分的先進設備。愛發科ULVAC主要生產各種油旋片泵、羅茨泵、機組（含規格品）、排氣小車。

　　ULVAC機工株式會社作為專門制造銷售小型真空泵及小型真空儀器、裝置的廠家，產品應用于各行業的高、中、低真空領域。特別是真空儀器、裝置上配用的小型真空泵，產品品種、品質均處于領xian地位，滿足了各小型真空泵的專業使用廠家的需求。

        愛發科ULVAC主要生產各種油旋片泵、羅茨泵、機組（含規格品）、排氣小車。計劃年產量為20000臺，銷售收入8000萬元，其中50%以上產品返銷日本及出口到世界各地。產品廣泛應用于空調、冰箱、照明、電子、光學、材料、化工、醫yao、食品等行業的設備和自動化生產線上，產品應用范圍覆蓋了從一般工業技術到尖duan技術的商品群。??5，對于真空泵油及時進行更換，每月都要進行一次對排氣過濾器與進氣過濾器進行的檢查VARIAN瓦里安分子泵在高真空和超真空真空應用中的幾點優勢1、陶瓷軸承，脂潤滑，無需維護，兩個軸承都在排氣口端，確保了清潔的真空環境。

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