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真空設備檢漏

聽音法

氣體從小孔中噴出時，會發出聲音。聲音的大小和頻率取決于泄漏率的大小、兩側的壓力、壓差和氣體的種類等。根據氣體漏出時發出的聲音判斷有無泄漏。

該方法的靈敏度很大程度上受環境的影響。現代的檢漏方法如果被測工件不適合與水接觸，或者檢測環境中存在溫度的影響，或者被測工件是彈性體而導致無法使用水泡法和壓降法檢測時，采用氫氣檢漏法是一種性價比較高的選擇。若工廠噪音較大，則小的聲音就不易聽清。使用聽診qi，某種程度上可以消除周圍噪音的影響，聽清泄漏聲音，但有時與泄漏無關的聲音（例如電機的聲音）也會混雜進來，從而影響檢漏靈敏度。為了辨別較小的聲音，可用話筒和放大器將聲音放大。但此時其它聲音也同時放大，多數情況下較難收到好的效果。在檢測壓力為0.3MPa，周圍非常安靜的條件下，可以聽出5′10-2cm3/s的泄漏率的聲音。

這種方法既簡單、經濟。使用聽診qi，在某種程度上可以判斷出泄漏點。如單憑耳朵聽，往往因聲波的反射或吸收，很難確定泄漏點，即發聲地點。由于檢測環境條件不同，所得到的結果可能偏差很大。因此，這種方法的穩定性和可靠性很差。應與其它檢測法并用。

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真空設備檢漏與維修

為什么要檢漏

泄漏和密封相對應

很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力的作用下，流進或流出這個空間。如真空設備（真空鍍膜機，液晶注入機，PVD，半導體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時，空氣不能漏進工作腔體，否則生產不能進行，或者產生次品，浪費人力物力。由于保壓測試和水浴法只能檢出10-3mbar·l/s左右的泄漏，因此長期以來，氦檢漏技術是制冷、空調行業中的檢小漏的手段，吸槍式氦檢漏技術一般可以檢出10-7mbar·l/s左右的泄漏。另外裝液體或氣體的容器（液壓氣瓶，氧氣瓶，空調冰箱中的雪種容器等等），要求在容器內外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。如果有漏，后果嚴重，一般會造成有效物資的浪費，如有毒物資、腐蝕性氣體漏出，甚至會釀成事故。

這些對密封性有要求的產品或設備，在投入使用前，就要先進行檢漏，使用中也要定期進行檢漏檢查。

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一個真空系統(或容器)要求做到絕dui不漏氣是不現實的，也是沒有必要的，所以就要根據真空系統實際應用的具體條件，對漏率指標提出合理的要求，只要漏孔的漏率已足夠小，使得平衡壓強低于真空系統工作所需的壓強，這些漏孔就是允許的。以上是由北京科儀創新真空技術有限公司發表內容，如有需要，歡迎撥打圖片上的熱線電話。真空系統正常工作所能允許的做大漏氣量，稱da允許漏率，簡稱允許漏率。此值不僅是設計真空系統的一項主要指標，也是檢漏的依據。

如果已知允許的總氣載，而沒有具體指明究竟有多大，那么，在設計合理的前提下。da允許漏率Q漏=0.1Q總，不同真空系統所允許的總漏率也不同。

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并預先根據環境中氦的含量對檢漏儀進行標定。若需在抽真空方式下準確地找到漏孔的

位置，可以通過對可yi位置噴氦并檢驗漏率是否有明顯的上升來完成。

與抽真空方式相反，嗅探方式是通過測量待測器件內部氣體經由器壁漏孔泄漏至器件外面的氦的多少來獲得漏率的大小的。預先向待測器件內充入一定氦氣，

封閉測試端口，將嗅探探頭連接至檢漏儀，用嗅探探頭對待測器件表面的可yi部位進行掃描。如果發現漏率明顯的上升，便可判斷漏孔的位置。由于氫分子移動速度要高于其他分子，因此使用安全的低濃度氫氣作為示蹤氣體，可以有著更快的響應速度和更好的檢漏精度。這種方式適合在待測器件內部無法或者不能抽真空的情形下檢漏。但是，由于嗅探方式是通過檢測器壁外的大氣來進行測量的，大氣中的氦會帶來一個較高的漏率本底。這個本底雖可通過置零來清除，但仍會降低嗅探方式的靈敏度（嗅探方式xiao可檢測漏率小于5×10－6Pa·L/s，而抽真空方式的小于5×10－10Pa·L/s）。