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什么是流量控制器？

質(zhì)量流量計(jì)，即Mass Flow Meter（縮寫(xiě)為MFM）, 是一種準(zhǔn)確測(cè)量氣體流量的儀表，其測(cè)量值不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)，不需要溫度壓力補(bǔ)償。

質(zhì)量流量控制器, 即Mass Flow Controller（縮寫(xiě)為MFC）, 不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能，更重要的是，它能自動(dòng)控制氣體流量，即用戶(hù)可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。簡(jiǎn)單地說(shuō),質(zhì)量流量控制器就是一個(gè)穩(wěn)流裝置, 是一個(gè)可以手動(dòng)設(shè)定或與計(jì)算機(jī)聯(lián)接自動(dòng)控制的氣體穩(wěn)流裝置。3、熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)熱探頭向周?chē)妮椛鋼Q熱03熱探頭表面溫度為，它要向氣流和另一個(gè)探頭進(jìn)行輻射換熱。

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什么是流量控制器

質(zhì)量流量控制器，即MassFlowController(MFC)，不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能，更重要的是，它能自動(dòng)控制氣體流量，即用戶(hù)可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫(xiě)為MFC）用于對(duì)于氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。擴(kuò)散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細(xì)管測(cè)量氣象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工。冶金，制藥等。特點(diǎn)：精度高，重復(fù)性好。氣體流經(jīng)振動(dòng)管時(shí)，存在壓降，使得振動(dòng)管受力不對(duì)稱(chēng)，這也對(duì)相位差有影響。

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流量控制器如何測(cè)混合氣體的流量？

質(zhì)量流量計(jì)是采用感熱式測(cè)量百，通過(guò)分體分子帶走熱量多少?gòu)亩鴣?lái)測(cè)量流量，因?yàn)槭怯酶卸葻崾綔y(cè)量，所以不會(huì)因?yàn)闅怏w溫度、壓力的變化從而影響到測(cè)量的結(jié)果 。

即氣體流過(guò)加熱元件時(shí)將熱量帶走，帶走的熱量與氣體的流速問(wèn)和氣體的密度成正比。為了保持兩個(gè)溫度傳感器的固定溫差需要電路對(duì)加熱答元件提供更多的功率，電路中輸出功率的大小與流體的質(zhì)量有關(guān)，由此測(cè)量流專(zhuān)量。

此方法，日系發(fā)動(dòng)機(jī)常用。

質(zhì)量流量控制器主要參數(shù)

質(zhì)量流量精度： ±0.002×流量±零點(diǎn)漂移

密度測(cè)量精度： ±0.003g／cm3

密度測(cè)量范圍： 0.5~1.5g／cm3

溫度測(cè)量范圍： ±1°C

傳感器相關(guān)數(shù)據(jù)：

環(huán)境溫度： －40~60°C

介質(zhì)溫度： －50~200°C

防爆類(lèi)型： iBⅡBT3

關(guān)聯(lián)設(shè)備： 配套變送器

(3) 變送器相關(guān)數(shù)據(jù)：

工作溫度： 0~60°C

相對(duì)濕度： 95%以下

電 源： 220±10%VAC,50Hz或24±5%VDC,40W

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