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真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時，應該選各種無油泵，如：水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。⑹正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍，如：2BV系列水環真空泵工作壓強范圍760mmHg~25mmHg（絕壓），在這樣寬壓強范圍內，泵的抽速隨壓強而變化（詳細變化情況參照泵的性能曲線），其穩定的工作壓強范圍為760~60mmHg。羅茨泵的兩個轉子是通過一對高l精度的齒輪來實現其相對同步旋轉的。因而，泵的工作點應該選在這個范圍之內較為適宜，而不能讓它在25~30mmHg下長期工作。

旋片式真空泵是真空技術中很基本的真空獲得設備之一。旋片泵多為中小型泵。旋片式真空泵有單級和雙級兩種。所謂雙級，就是在結構上將兩個單級泵串聯起來。一般多做成雙級的，以獲得較高的真空度

，主要由泵體、轉子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片泵的腔內偏心地安裝一個轉子，轉子外圓與泵腔內表面相切（二者有很小的間隙），轉子槽內裝有帶彈簧的二個旋片。旋轉時，靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內壁保持接觸，轉子旋轉帶動旋片沿泵腔內壁滑動。動量傳輸泵：這種泵是依靠高速旋轉的葉片或高速射流，把動量傳輸給氣體或氣體分子，使氣體連續不斷地從泵的入口傳輸到出口。

（4） 擴散噴射泵：它是一種有擴散泵特性的單級或多級噴嘴與具有噴射真空泵特性的單級或多級噴嘴串聯組成的一種動量傳輸泵。油增壓泵即屬于這種形式。（5） 離子傳輸泵：它是將被電離的氣體在電磁場或電場的作用下，輸送到出口的一種動量傳輸泵。

（1）蒸發離子泵：泵內被電離的氣體吸附在以間斷或連續方式升華（或蒸發）而覆在泵內壁的吸氣材料上，以實現抽氣的一種真空泵。（2）濺射離子泵：泵內被電離的氣體吸附在由陰極連續濺射散出來的吸氣材料上，以實現抽氣目的的一種真空泵。但泵的重l心較高，在高速運轉時穩定性差，故這種型式多用于小泵。低溫泵：利用低溫表面捕集氣體的真空泵

水環真空泵原理與優缺點分析

水環真空泵的原理：

　　泵體充滿適量的水作為工作流體。當葉輪沿圖中所示方向順時針旋轉時，水被葉輪甩出。由于離心力的作用，水形成了一個厚度大致相等的閉合環，這是由泵室的形狀決定的。水環的上部正好與葉輪輪轂相切，而水環的下部正好與葉尖接觸(實際上，葉片有一定的穿透深度)。此時，在葉輪輪轂和水環，之間形成一個新月形空間，該空間被葉輪分成幾個葉片數量相等的小腔。如果葉輪的上部是0作為起點，當葉輪旋轉180之前，小腔的體積由小變大，并與端面上的吸入口連通。這時，氣體被吸入，當吸入結束時，小腔從吸入口被阻塞。（1）分子真空泵：它是利用高速旋轉的轉子把能量傳輸給氣體分子，使之壓縮、排氣的一種真空泵。當葉輪繼續旋轉時，小腔由大變小，氣體被壓縮;當小腔與排氣口連通時，氣體從泵中排出。