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              發布時間:2021-08-24 13:24  






              2017年,我國工業新舊動能轉換成效初顯,工業生產超預期回升、產業結構優化升級、企業效益明顯改善。2018年,隨著全球半導體產業加速東移,中國電子特種氣體產業迎來歷史機遇期。氣體工業是國民經濟基礎工業之一,覆蓋社會生產的各個領域,受益于國民生活,牽動著科學技術的發展。特種氣體是指那些在特定領域中應用的,對氣體有特殊要求的純氣,高純氣或由高純單質氣體配制的二元或多元混合氣。特種氣體是泛半導體產業制造的關鍵電子材料,直接關系到我國民經濟發展和國家戰略安全。根據氣體圈子2017年統計數據顯示,政府各部門多次出臺特種氣體鼓勵政策。2017年5月2日,科技部印發《“十三五”先進制造技術領域科技專項規劃》中關鍵材料部分提到面向45-28-14納米集成電路工藝,重點研發包括超高純電子氣體和其他關鍵材料產品。3、應用:作為燃料及制造氫氣、炭黑、一氧化碳及甲醛等物質的原料。6月16日,特種氣體入選國家《重點新材料首批次應用指導目錄(2017年版)》。9月12日,保監會決定建立新材料首批次應用保險補償機制并開展試點工作。將《重點新材料首批次應用指導目錄》生產首批次新材料的企業作為保險補償政策的支持對象。原則上政府補貼的責任限額不超過合同金額的5倍、且不超過5億元,投保費率不超過3%。


              氣體的應用

              產品作為現代工業重要的基礎原料,應用范圍十分廣泛,在冶金、鋼鐵、石油、化工、機械、電子、玻璃、陶瓷、建材、建筑、食品加工等部門,均使用大量的常用氣體或特種氣體。能否將合符要求的高純氣體送至用氣點仍保持質量合格的關鍵技術;高純氣配管技術是高純氣體供氣系統的重要組成部分,包括系統的正確設計、管件及附件的選擇、施工安裝和試驗測試等內容。氣體的應用,特別對這些領域的高新技術有重要的影響,是其不可缺少的原料氣或工藝氣。半導體集成電路所需要的高純氣體主要分為兩大類:1、普通氣體:也叫大宗氣體,主要有:H2、N2、O2、Ar、He等。也只有各種新興工業部門和現代科學技術的需要和推動,氣體工業產品才能在品種、質量和數量等方面得到飛躍發展.


              在半導體體行業線寬越做越小,其對氣體純度、顆粒度、雜質含量的要求也越來越高。線寬下對超純氮氣的要求,高純氮氣(PN2):系統管道采用內壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管,閥門采用相同材質的波紋管閥或隔膜閥。將《重點新材料首批次應用示范指導目錄》生產首批次新材料的企業作為保險補償政策的支持對象。(N2):系統管道采用內壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管或光亮退火(BA)低碳(316L)不銹鋼管,閥門采用相同材質的波紋管閥或球閥。


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