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真空腔體焊接制造工藝中需要掌握的技術要求

焊縫是真空制造工藝中容易產生漏孔的區域之一，常見的焊縫外觀缺陷及其它缺陷，如未熔合、未焊透、夾渣、氣孔、裂紋及內應力都是超高真空系統中的漏孔或者虛漏源的隱患。為了大程度地減少焊縫缺陷，便于檢測，超高真空要求焊接的零部件使焊縫盡量處在真空側，大氣側焊縫僅作為間斷加強焊縫，同時使大數量的焊縫能在制造階段分別測試，在終裝配前給予矯正。由于一些零部件的截面尺寸小，內壁施焊受到限制，某些部位只能采用大氣側焊縫，焊縫應一次焊好，以避免兩次焊接時造成有害空間，那么真空腔體必須保證單面焊雙面成型的效果優良。

另外還應該指出，由于壓差、振動和熱循環等原因在接頭內產生的應力和應變，可能會使含有缺陷的焊縫產生裂紋從而使焊縫受損，或者在使用過程中焊縫受腐蝕，這樣就可能形成漏點。

因而所采用的焊接方法必須在這些條件下能使焊縫的漏率滿足技術要求。

沈陽鵬程真空腔體制造技術

提供專用設備腔的定制服務，腔體的外形和開口可以根據用戶要求進行設計。

表面分析腔有通用腔體，用戶也可以在通用腔體的基礎上進行自定義設計。

手套箱和焊接箱專用于熔煉或焊接鈦、鋅等對易在大氣中氧化的材料。

真空密封頸是基板和鐘形罩之間的過渡組件，它可以提供額外的高度和更多的自由端口。

裝載鎖定室是建在主腔體上的特別制作小腔體，可在不破壞主腔體真空度的條件下，將樣本、晶片或其他組件從外部大氣環境移動到內部高真空環境中。

真空腔體中抽氣管道的設計原則

為一個工藝選擇真空泵時，工藝室和泵之間的抽氣管道可能和泵的選擇一樣重要。要使腔體抽氣速率達到大，需要筆直的抽氣管道(長度短)并使用直徑盡可能大的管道。

看起來似乎很簡單，但是這里有許多因素需要考慮。實際上，如果我們從物理學角度考慮，就可以明確哪些是關鍵因素。真空腔體

在穩定狀態的條件下，如果抽氣管道內沒有氣源(泄漏)或氣體減少(冷凝)，抽氣管道任何截面的質量流量必須相同。簡單而言，進入工藝室的氣體必須從泵出來。

已知氣體摩爾流量為M(公斤/摩爾)、抽氣速率為S(立方米/秒)、壓力為P(帕)、溫度為T(開爾文)，則質量流量計算如下：

質量流量(公斤/秒)=(M*P*S)/(Ro*T)

Ro=通用氣體常數

對于大多數抽氣系統而言，氣體溫度(T)在抽氣管道中不會顯著減少，而且可以合理地假定為恒定的。

在此情況下，抽氣管道任何截面(P*S)的乘積(稱為通量)相同。真空腔體

由于抽氣管道的壓力差是氣體流動的推動力，可見壓力(P)必須在工藝室中為高值，在泵入口為低值。

由于我們假定通量恒定，可見抽氣速率(S)在工藝室為小值，在泵入口為大值(等于泵速)。