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              大樣片離子束刻蝕機(jī)安裝常用解決方案

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              發(fā)布時(shí)間:2020-11-01 11:36  







              離子束刻蝕機(jī)的特點(diǎn)

              刻蝕過(guò)程是純物理濺射,可以刻蝕任何固體材料;平行離子束刻蝕,高各向異性;無(wú)鉆蝕;精度高,分辨率<0.01um.

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              離子束刻蝕機(jī)

              離子束技術(shù)的應(yīng)用涉及物理、化學(xué)、生物、材料和信息等許多學(xué)科的交叉領(lǐng)域。離子束加工在許多精密、關(guān)鍵、高附加值的加工模具

              等機(jī)械零件的生產(chǎn)中得到了廣泛應(yīng)用。一些國(guó)家用于軍事裝備的建設(shè)上,如改善蝸輪機(jī)主軸承、精密軸承、齒輪、冷凍機(jī)閥門(mén)和活塞的性能。離子注入半導(dǎo)體摻雜已成為超大規(guī)模集成電路微細(xì)加工的關(guān)鍵工藝,導(dǎo)致出現(xiàn)了80年代集成電路產(chǎn)業(yè)的騰飛。

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              表面拋光

              離子束能完成機(jī)械加工中的后一道工序一-精拋光,以消除機(jī)械加工所產(chǎn)生的刻痕和表面應(yīng)力。加工時(shí)只要嚴(yán)格選擇濺射參數(shù)(入射離子能量、離子質(zhì)量、離子入射角、樣品表面溫度等),光學(xué)零件就可以獲得較佳的表面質(zhì)量,且散射光較小。離子束拋光激光棒和光學(xué)元件的表面,表面可以達(dá)到較高的均勻和一致性,而且元件本身在工藝過(guò)程中也不會(huì)被污染。










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