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高溫束源爐的特點

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溫度控制和均勻的基于SCR 功率輸出電源實現準確的沉積速率控制，并確保高質量的，均勻的膜。

◆ 使用PID 控制器進行溫度控制，控制在±1℃

◆ 自動調節模式

◆ 可調節報警條件

◆ 速率控制輸入與沉積控制相兼容

水冷銅電極一般用的是什么銅？

沈陽鵬程真空技術有限責任公司專業生產、銷售水冷銅電極，以下信息由沈陽鵬程真空技術有限責任公司為您提供。

鉻鋯銅（CuCrZr）化學成分（質量分數）%（ Cr:0.1-0.8， Zr:0.3-0.6）硬 度（HRB78-83）導電率 43ms/m鉻鋯銅有良好的導電性，導熱性，硬度高，耐磨抗爆，抗裂性以及軟化溫度高，焊接時電極損耗少，焊接速度快，焊接總成本低，適合作為熔接焊機的電極有關管件，但對電鍍工件表現一般。此產品廣泛應用于汽車、摩托車、制桶(罐)等機械制造工業的焊接、導電嘴、開關觸頭、模具塊、焊機輔助裝置用各種物料。用于低蒸汽壓的元素和化合物材料薄膜沉積，例如Fe，Cr，Ni，Co，Au，Ge等材料，以及表面科學分析和磁性或氧化物薄膜沉積。

靶材鍍膜工藝介紹

用于建筑玻璃的鍍膜玻璃-般都鍍薄膜。 我們把厚度低于1um的膜層叫薄膜，厚度高于1um的膜叫厚膜鍍膜工藝是用不同的材料在基片表面形成新表面的方法。鍍膜的方法很多,真空蒸發、真空濺射、化學還原、溶膠凝膠法等。它要求膜層要有非常強的附著力,附著力不強的叫覆蓋。1:微電子領域2:平面顯示器用靶材3:存儲技術用靶材濺射靶材主要應用于電子及信息產業,如集成電路、信息存儲、液晶顯示屏、激光存儲器、電子控制器件等。要獲得強附著力,就必須將玻璃表面清潔干凈。

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