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              發布時間:2020-08-05 09:33  






              彩色薄膜少了光刻膠,產生不了絢麗的畫面

              顯示器是人與機器溝通的重要界面。光刻膠是整個光刻工藝的重要部分,也是國際上技術門檻較高的微電子化學品之一,主要應用在集成電路和平板顯示兩大產業。光刻技術決定了集成電路的集成度,技術節點的推進和實現。

              章宇軒介紹,我們在日常工作生活中,之所以能從顯示屏幕上看到色彩斑斕的畫面,就是離不開屏幕中厚度只有2μm、卻占面板成本16%的一層彩色薄膜。然而,彩色薄膜顏色的產生,必須由光刻膠來完成。

              LCD是非主動發光器件,其色彩顯示必須由本身的背光系統或外部的環境光提供光源,通過驅動器與控制器形成灰階顯示,再利用彩色濾光片產生紅、綠、藍三基色,依據混色原理形成彩色顯示畫面。

              其中,根據顏色的不同,可以將光刻膠分為黑色、紅色、綠色、藍色四種。彩色濾光片的制作就是在玻璃基板上應用黑色光刻膠制作黑色矩陣,再應用紅、綠、藍光刻膠制作三原色像素。


              芯片光刻的流程詳解(一)

              在集成電路的制造過程中,有一個重要的環節——光刻,正因為有了它,我們才能在微小的芯片上實現功能。現代刻劃技術可以追溯到190年以前,1822年法國人Nicephore niepce在各種材料光照實驗以后,開始試圖復一種刻蝕在油紙上的印痕(圖案),他將油紙放在一塊玻璃片上,玻片上涂有溶解在植物油中的瀝青。經過2、3小時的日曬,透光部分的瀝青明顯變硬,而不透光部分瀝青依然軟并可被松香和植物油的混合液洗掉。通過用強酸刻蝕玻璃板,Niepce在1827年制作了一個d’Amboise主教的雕板相的產品。4,曝光前烘好的存底放在光刻膠襯底放在光刻機上,經與光刻版對準后,進行曝光,接受光照的光刻膠發生化學變化,形成潛影,光源與光刻膠相匹配,也就是光源波長在光刻膠的敏感波段。

              Niepce的發明100多年后,即第二次大戰期間才應用于制作印刷電路板,即在塑料板上制作銅線路。到1961年光刻法被用于在Si上制作大量的微小晶體管,當時分辨率5um,如今除可見光光刻之外,更出現了X-ray和荷電粒子刻劃等更高分辨率方法。隨著曝光加工特征尺寸的縮小,入射光的反射和散射對提高圖形分辨率的影響也越來越大。


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              6,堅膜

              堅膜也叫后烘,是為了去除由于顯影液的浸泡引起膠膜軟化、溶脹現象,能使膠膜附著能力增強,康腐蝕能力提高。

              堅膜溫度通常情況高于前烘和曝光后烘烤的溫度 100-140 10-30min

              7,顯影檢驗

              光刻膠鉆蝕、圖像尺寸變化、套刻對準不良、光刻膠膜損傷、線條是否齊、陡

              小孔、小島。

              NR9-3000PY 相對于其他光刻膠具有如下優勢:

              - 優異的分辨率性能

              - 快速地顯影

              - 可以通過調節曝光能量很容易地調節倒梯形側壁的角度

              - 耐受溫度100℃

              - 室溫儲存保質期長達3 年




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