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              射頻磁控濺射品牌企業

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              發布時間:2020-11-03 11:27  







              磁控濺射鍍膜設備技術的特點

              (1)離子轟擊滲擴更快因為選用低溫等離子無心插柳,為滲劑分子和正離子的吸咐和滲人造就了高寬比活性的表層,提升了結晶中缺點的相對密度,比傳統式的汽體滲擴技術性速率明顯增強。磁控濺射鍍膜設備技術的特點(1)鋼件形變小因為鋼件表層勻稱遮蓋輝光,溫度完整性好,能夠根據操縱輸出功率輸出來保持勻稱提溫。在一樣加工工藝標準下,滲層深度1在0.05二以內,比汽體滲擴提升1倍。在較高溫度下,1h就能達lmm厚。

              (2)對鋼件表層改性材料成效顯著,工藝性能高,真空泵加溫易清除高溫冶煉廠時融解的汽體,并可根據滲人金屬材料更改PCB的機構和構造,使耐磨性能、耐蝕性、強度和斷裂韌性等眾多特性獲得改進。如果轟擊離子能量很高時,濺射的原子數與轟擊離子數之比值將減小,這是因為轟擊離子能量過高而發生離子注入現象的緣故。而且因為清理功效,使金屬材料粗糙度減少,除去不銹鋼鈍化的殘渣和廢棄物,改進了金屬材料的工藝性能。 

              (3)加工工藝適應能力強,有利于解決方式繁雜的鋼件。實際上,每個設備都有使用壽命,例如,擴散泵用的硅油,使用壽命為兩年左右,我們提早更換,這是浪費嗎。傳統式的正離子注人技術性的致命性缺點是注人全過程是1個視野全過程,只能曝露在正離子搶口下的鋼件表層能夠被注人,針對鋼件中必須表層改性材料的內表層或管溝表層等,離子束則很難達到,而且一回只有注一人鋼件,注人率低,機器設備繁雜價格昂貴

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              直流磁控濺射技術

              為了解決陰極濺射的缺陷,人們在20世紀開發出了直流磁控濺射技術,它有效地克服了陰極濺射速率低和電子使基片溫度升高的弱點,因而獲得了迅速發展和廣泛應用。在這種級聯過程中某些表面附近的靶原子獲得向外運動的足夠動量,離開靶被濺射出來。其原理是:在磁控濺射中,由于運動電子在磁場中受到洛侖茲力,它們的運動軌跡會發生彎曲甚至產生螺旋運動,其運動路徑變長,因而增加了與工作氣體分子碰撞的次數,使等離子體密度增大,從而磁控濺射速率得到很大的提高,而且可以在較低的濺射電壓和氣壓下工作,降低薄膜污染的傾向;另一方面也提高了入射到襯底表面的原子的能量,因而可以在很大程度上改善薄膜的質量。同時,經過多次碰撞而喪失能量的電子到達陽極時,已變成低能電子,從而不會使基片過熱。因此磁控濺射法具有“高速”、“低溫”的優點。該方法的缺點是不能制備絕緣體膜,而且磁控電極中采用的不均勻磁場會使靶材產生顯著的不均勻刻蝕,導致靶材利用率低,一般僅為20%-30%。

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              磁控濺射鍍膜機

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              目前國內窗膜行業的批發商及終端店很多人都吃過磁控鍍銀膜氧化的虧,產品賣出后幾個月,開始大面積氧化,需要賠償,甚至還失去了客戶。特別是NSN系列在13、14年出的問題特別多,搞得很多人談磁控膜色變的地步。當金屬靶材撞向零件時由于能量轉化,與反應氣體化合生成氮化物或氧化物。而在15、16年后,問題得到解決。慢慢地就沒多少氧化問題出現了。這也讓很多剛接觸磁控膜的人以為磁控膜都是鍍銀的膜,一說磁控膜就問會不會氧化。其實大可不必擔心,大部分的側檔都不是銀的,請放心使用。且這兩年的技術進步,國內各磁控工廠也找到了解決氧化的方法。其實在玻璃鍍膜行業,早就解決了氧化問題,我記得早期的low-e玻璃在鍍膜后必須在24小時內合成中空,不然就會氧化。當時low-e與中空都是鍍膜廠做的,下邊玻璃加工廠根本無法介入,而現在鍍膜廠只需生產玻璃鍍膜原片。且玻璃原片爆露在空氣中可達6個月以上,都不會氧化。這樣中空玻璃,一些門窗廠,幕墻公司、小規模的玻璃深加工工廠,都可以生產low-e中空玻璃了,加上政府政策的支持與引導,大大的加快了low-e玻璃的發展與普及。做窗膜磁控濺射鍍膜的應多去看看玻璃行業的low-e鍍膜,多些交流。畢竟生產原理是一樣的東西,技術是相通的。很多東西是可以套用的,low-e鍍膜得到了規模化的發展,技術工藝已非常成熟了。窗膜磁控濺射鍍膜終是要與玻璃配套的,如何與玻璃上直接鍍膜做差異化發展,才是正道。就目前來說,僅從隔熱性能、保溫性能上與玻璃對抗,是不可能有成本上優勢的。但都是鍍膜,如何做差異化,我目前也只是拋磚引玉,只有大家一起開動腦袋了。










              磁控濺射鍍膜機的優勢

              1.實用性:設備集成度高,結構緊湊,占地面積小,可以滿足客戶實驗室空間不足的苛刻條件;通過更換設備上下法蘭可以實現磁控與蒸發功能的轉換,實現一機多用;

              2.方便性:設備需要拆卸的部分均采用即插即用的方式,接線及安裝調試簡單,既保證了設備使用方便又保證了設備的整潔;

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