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超精密零件加工方法的特點：對外表層物質去除或添加的量能夠作極細微的控制。一般在高于或低于常溫狀態的加工﹐會引起工件的化學或物相變化﹐稱熱加工。但是要獲得超精密零件加工精度，仍有賴于精密的加工設備和準確的克制系統，并采用超精密掩膜作中介物。例如超大規模集成電路的制版即使采用電子束對掩膜上的光致抗蝕劑（見光刻）舉行曝射，使光致抗蝕劑的原子在電子撞擊下直接聚合(或分解)，再用顯影劑把聚合過的或未聚合過的部分溶解掉，制成掩膜。電子束曝射制版必要采用工作臺定位精度高達±0.01微米的超精密加工設備。

制定零件加工工藝的主要內容與步驟

(1)確定毛坯的種類。毛坯種類應根據零件的材料、形狀、尺寸放工件數量來確定。

(2)確定零件的加工順序。零件加工順序應根據尺寸精度、表面粗糙度和熱處理等全部技術要求以及毛坯的種類和結構、尺寸來確定。

(3)確定工藝方法及加工余量。即確定每一工序所用的機床、工件裝夾方法、加工方法、測量方法及加工尺寸（包括為下道工序所留的加工余量）。

單件小批量生產中、小型零件的加工余量，可按下列數值選用（對內外柱面及平面均指單邊余量）。毛坯尺寸大的，取大值；反之，取小值。

總余量：手工造型鑄件約3—6 mm；自由鍛件約3.5～7 mm；圓鋼料約1.5-2.5 mm。

工序余量：半精車約0.8～1.5 mm；高速精車約0.4～0.5 mm；低速精車約0.1—0.3 mm；磨削約0.15-0.25 mm。

機械零件加工是一種用加工機械對零件工件的外形尺寸或性能進行改變的過程。按被加工的零件工件處于的溫度狀態﹐分為冷加工和熱加工。這些表面不是零件上的工作表面，只是為滿足工藝需要而在工件上專門設計的定位基準稱為輔助基準。一般在常溫下加工，并且不引起零件工件的化學或物相變化﹐稱冷加工。一般在高于或低于常溫狀態的加工﹐會引起零件工件的化學或物相變化﹐稱熱加工。冷加工按加工方式的差別可分為切削加工和壓力加工。熱加工常見有熱處理﹐煅造﹐鑄造和焊接。另外裝配時經常要用到冷熱處理。例如：軸承在裝配時往往將內圈放入液氮里冷卻使其尺寸收縮，將外圈適當加熱使其尺寸放大，然后再將其裝配在一起?；疖嚨能囕喭馊σ彩怯眉訜岬姆椒▽⑵涮自诨w上，冷卻時即可保證其結合的牢固性。