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發(fā)布時(shí)間:2021-03-30 02:27  
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與無(wú)塵室內(nèi)之空氣過(guò)濾器(HEPA)進(jìn)入無(wú)塵室,并由無(wú)塵室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。A、材質(zhì):棉質(zhì)發(fā)塵量大,以下依次為棉、的確良、去靜電純滌綸、尼龍。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。亂流無(wú)塵室靠送風(fēng)氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣,將污染空氣逐漸稀釋?zhuān)瑏?lái)實(shí)現(xiàn)潔凈的。氣次數(shù)決定定義中的凈化級(jí)別(換氣次數(shù)越多,凈化級(jí)別越高)。此型式適用于無(wú)塵室等級(jí)1,000-100,000級(jí)。
無(wú)塵室被定義為具備空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。分析國(guó)外試驗(yàn)資料可以認(rèn)為⑴無(wú)塵室內(nèi)當(dāng)工作人員穿無(wú)菌服時(shí):靜止時(shí)的發(fā)菌量一般為10-300個(gè)/min。無(wú)塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。 單流向型無(wú)塵室,很多都是設(shè)計(jì)成垂直層流,因此風(fēng)速均勻度非常重要,只有均勻的垂直層流,才能有效排除微粒污染。非單流向型無(wú)塵室,由于微粒控制的觀念是稀釋?zhuān)皇橇⒓磁懦话愣云鋼Q氣量遠(yuǎn)比風(fēng)速重要,因此多只需要測(cè)量風(fēng)量。
無(wú)塵潔凈室中的三塵。并裝局部無(wú)塵室(CleanSpot):將無(wú)塵室等級(jí)10,000~100,000之亂流無(wú)塵室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)提高為10~1000級(jí)以上,以為生產(chǎn)之用。無(wú)塵潔凈室有三大原則:禁塵、帶塵、產(chǎn)塵。風(fēng)淋室作為進(jìn)入潔凈室的緩沖通道之一,是控制帶塵的好凈化設(shè)備之一,它可以大限度地減少員工進(jìn)出無(wú)塵潔凈室所帶來(lái)的污染問(wèn)題。風(fēng)淋室的兩道門(mén)電子互鎖,可以兼起氣閘室的作用,阻止外界污染和未被凈化的空氣進(jìn)入無(wú)塵潔凈區(qū)域,達(dá)到生產(chǎn)車(chē)間所要求的生產(chǎn)潔凈環(huán)境。
(1)FFU用于老建筑物改造成潔凈室時(shí),其綜合經(jīng)濟(jì)性一般往往可取。
(2)潔凈度要求嚴(yán)的潔凈室,末級(jí)過(guò)濾器滿布率時(shí),對(duì)大的系統(tǒng)采用FFU,當(dāng)前還是不經(jīng)濟(jì)的;對(duì)小系統(tǒng)有意義作具體比較。
(3)對(duì)潔凈度要求不甚嚴(yán)的潔凈室,末級(jí)過(guò)濾器滿布率≤40%時(shí)對(duì)大系統(tǒng)綜合經(jīng)濟(jì)性往往相差不多,但對(duì)IC工廠而言FFU系統(tǒng)的靈活性是重要的,因此當(dāng)前IC工廠對(duì)過(guò)濾器滿布率≤40%時(shí),采用FFU系統(tǒng)已經(jīng)普遍。