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發布時間：2020-08-20 06:23
進口分子泵維修
真空度很好的情況下，分子泵油為何會返到前級管道?原因：油池或密封不良。分子泵維修方法：檢查油池。正常使用下，為什么分子泵油池會出現裂紋或者變形?原因：過熱，負載大。 維修方法：檢查冷卻系，檢查系統。分子泵中經常掉出頂絲、鏍釘等物體
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對于高真空/超高真空系統，當系統內的壓力低于10-6毫巴以后，系統內氫氣占的比例越來越大，而此時氫氣的返流也越來越明顯，因此此時分子泵的有效抽速已經與產品說明書給出的參數相差很大了。分子泵對氫氣的壓縮比越大，分子泵對氫氣的實際有效抽速就越大；反之，則實際有效抽速已經所剩無幾。
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異物進入分子泵：工藝環境粉塵較多或有異物進入分子泵時，會對高速旋轉的葉片和轉子造成巨大損害，建議立即停機送修檢測。分子泵無法達到全速，真空度抽不下去：請檢查前級真空是否正常，如果是分子泵組，請先打開氣鎮閥抽一段時間后在觀察下，無法解決問題建議立即送修檢測
