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處理有機廢氣有許多常用的工業過程，如光催化、低溫等離子體、微波催化、催化燃燒、活性炭吸附、生物溶液降解等。這些有機廢氣由于行業和濃度的不同，適用于不同的處理方法。在有機廢氣處理過程中，光催化廢氣處理是無毒的，沒有任何副作用。光催化廢氣正逐步超越傳統的臭氧等空氣凈化器，并能在有人在場的情況下連續消毒除塵，對人體無副做用。為了消除有害氣體的異味，一次電子在電場中加速并撞擊空氣中的氧分子。當等離子體廢氣凈化器的能量超過氧分子的電離勢時，氧分子迅速電離。失去電子的氧分子變成正氧離子（O2 ），而釋放的電子與另一個中性氧分子結合成為負氧離子（O2-）。其結果是，氧離子被分為兩個階段，吸收中間氧分子形成氧基團，如O2 、O2-、O2等，它們具有較強的氧化性，能夠在短時間無害的產品和水中氧化和分解被污染的空氣中的有害組分為負氧離子（O2-）。

紫外線光氧廢氣處理設備分解后的惡臭氣體可實現無害化排放，不產生二次污染，同時達到消毒滅菌的效果，然后通過排氣管排放到室外；適用于：注塑、印刷、家具、噴涂，焊接廢氣、各類工業VOC有機廢氣、除臭除臭凈化。

利用吸收法的廢氣處理設備采用低揮發或不揮發性溶劑對VOCs進行吸收，再利用VOCs和吸收劑物理性質的差異進行分離。含VOCs的氣體自設備底部進入塔內，在上升過程中與來自塔頂的吸收劑逆流接觸，凈化后的氣體由塔頂排出。

吸附型廢氣處理設備主要是利用多孔物質對廢氣進行吸附，并且使其進行脫落的過程，吸附處理廢氣時，吸附的對象是氣態污染物，氣固吸附。被吸附的氣體組分稱為吸附質，多孔固體物質稱為吸附劑。

燃燒及催化廢氣處理設備，燃燒法用于處理高濃度Voc與有惡臭的化合物很有效，其原理是用過量的空氣使這些雜質燃燒，大多數生成二氧化碳和水蒸氣，可以排放到大氣中。但當處理含氯和含硫的有機化合物時，燃燒生成產物中HCl或SO2，需要對燃燒后氣體進一步處理。

低溫等離子設備是利用等離子體內部產生富含極高化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發態分子等。廢氣中的污染物質與這些具有較高能量的活性基團發生反應，蕞終轉化為CO2和H2O等物質，從而達到凈化廢氣的目的。

羅茨真空機組的工作壓力應該滿足真空設備的極限真空及工作壓力要求。

對羅茨真空泵機組的極限壓力的要求，也是選擇前級泵必須考慮的，對極限真空度要求較高(達1×10-3Pa~1×10-2Pa壓力)一般選用雙級旋片式油封機械泵或雙級滑閻機械泵作為前級泵。極限真空度要求在(1×10-2Pa～1×10-1Pa)之間可選用單級油封機械泵作為前級泵，極限真空度要求在133~1333pa之間可選用往復式真空泵或液環式真空泵作為前級泵。

當選用往復式或液環式粗真空泵作為羅茨真空泵的前級泵時，前級泵的抽速一般為羅茨真空泵的1/2-1/4，不能太大，否則將使壓縮比過大，造成羅茨真空泵的排氣溫度高而不能正常工作。選用前級泵時還必須考慮被抽氣體中是否有腐蝕性介質，是否含有可凝性氣體，是大量的還是微量的。如果含有腐蝕性氣體.就不能選用油封機械泵，油封機械泵還不適宜抽除含有大量可凝性蒸汽的氣體，否則將會使密封液很快乳化，抽除含有微量可凝性蒸汽的氣體時，也必須采用帶有氣鎮裝置的油封機械泵作為前級泵。

為了獲得在低入口壓力(1-100pa)時的高的抽氣速率，可用一臺羅茨真空泵作為另一臺羅茨真空泵的前級泵組成的三級或四級機組，此時羅茨真空泵之問的抽速比一般在2~5之間。