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              發(fā)布時間:2020-08-09 11:49  






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              由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài),所以,在泵腔內(nèi)氣體沒有壓縮和膨脹。但當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過排氣口邊緣,v0空間與排氣側(cè)相通時,由于排氣側(cè)氣體壓強(qiáng)較高,則有一部分氣體返沖到空間v0中去,使氣體壓強(qiáng)突然。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動時,氣體排出泵外。羅茨泵在泵腔內(nèi),有二個“8”字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對平行軸上,由傳動比為1的一對齒輪帶動作彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運(yùn)動。在轉(zhuǎn)子之間,轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間,保持有一定的間隙,可以實(shí)現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運(yùn)行。

              設(shè)計要點(diǎn)

              在復(fù)合分子泵的設(shè)計中,必須處理好渦輪級與牽引級之間的應(yīng)配和銜接關(guān)系。由于渦輪級有較大的抽氣面積,抽速很大,而牽引級溝槽抽氣面積較小,在兩種結(jié)構(gòu)的聯(lián)接處,由渦輪葉片壓縮下來的氣體分子的流動方式突然轉(zhuǎn)變,使氣體分子的運(yùn)動在聯(lián)接處由有序變成無序,至使返流增加,抽氣能力下降。因此,在設(shè)計時應(yīng)在渦輪級和牽引級轉(zhuǎn)換處加上過渡級結(jié)構(gòu),以提高泵的抽氣性能。隨著復(fù)合分子泵的不斷改進(jìn),其應(yīng)用領(lǐng)域越來越廣,在某些抽氣系統(tǒng)上可以替代擴(kuò)散泵,縮短了系統(tǒng)的抽氣時間,并可獲得無油污染的清潔真空環(huán)境。


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              工作原理擴(kuò)散泵中的油在加熱到沸騰溫度(約為200度)后產(chǎn)生大量的油蒸氣,油蒸氣經(jīng)導(dǎo)流管從各級噴嘴定向高速噴出。由于擴(kuò)散泵進(jìn)氣口附近被抽氣體的分壓強(qiáng)高于蒸氣流中該氣體的分壓強(qiáng),被抽氣體的分子便不斷擴(kuò)散到高速定向蒸氣流中,隨著蒸氣流帶走。氣體分子隨蒸氣流碰到泵壁又反射回來,再受到蒸氣流碰撞而重新沿蒸氣流方向流向泵壁。經(jīng)過幾次碰撞后,氣體分子被壓縮到低真空端,再由下幾級噴嘴噴出的蒸氣進(jìn)行多級壓縮,后由前級泵抽走,而油蒸氣在冷卻的泵壁上被冷凝后又返回到下層重新被加熱,如此循環(huán)工作達(dá)到抽氣目的。


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